產(chǎn)品詳情
特點(diǎn)/應(yīng)用
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◆?2至6英寸樣品臺(tái)
◆?高真空腔體
◆?防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品溫度均勻性更好
◆?77K-675K高低溫環(huán)境
◆?兼容IV/CV/RF測(cè)試
◆?外置多探針臂，移動(dòng)行程大
◆?經(jīng)濟(jì)實(shí)用，可無縫升級(jí)
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極低溫測(cè)試:
因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
高溫?zé)o氧化測(cè)試：
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。
晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。
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◆?腔體規(guī)格：
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型號(hào) |
CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
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樣品臺(tái)尺寸 |
2英寸/4英寸/6英寸 |
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樣品固定 |
彈簧壓片 |
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觀察窗口 |
2英寸/4英寸/6英寸 |
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真空度 |
10-6torr |
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探針臂接口 |
4~6個(gè)探針臂接口 |
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其他接口 |
電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
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制冷方式 |
液氮/液氦/制冷機(jī) |
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溫度范圍 |
77K到573K/4.5K到573K |
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溫控精度 |
0.1K/0.01K/0.001K |
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穩(wěn)定性 |
±1K/±0.1K/±0.01K |
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外形 |
880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高 |
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重量 |
約100千克/120千克 |
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◆?光學(xué)系統(tǒng)：
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顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
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放大倍率 |
16X-200X/20X-4000X |
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移動(dòng)行程 |
水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸行程50.8mm |
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光源 |
外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
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CCD |
200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
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◆?探針臂：
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X-Y-Z移動(dòng)行程 |
50mm*50mm*50mm |
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結(jié)構(gòu) |
外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu) |
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移動(dòng)精度 |
10微米/1微米 |
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線纜 |
同軸線/三軸線/射頻線 |
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漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
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固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
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接頭類型 |
BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
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頻率支持 |
DC-67GHZ |
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針尖直徑 |
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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◆?其他組件：
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真空組件 |
分子泵組/機(jī)械泵/離子泵 |
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冷源組件 |
50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機(jī) |
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◆?可選附件：
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超高溫配件 |
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顯示器 |
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轉(zhuǎn)接頭 |
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射頻測(cè)試配件 |
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屏蔽箱 |
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光學(xué)平臺(tái) |
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鍍金卡盤 |
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光電測(cè)試配件 |
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高壓測(cè)試配件 |
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分子泵組 |
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激光系統(tǒng) |
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氣敏測(cè)試配件 |
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