產(chǎn)品詳情
1.設(shè)備參數(shù)規(guī)格:Φ280*2800mm,最大進(jìn)料量 20K,8溫區(qū)/16溫區(qū)(也可以是Φ310*3000mm 16區(qū))。
2.加熱元件:進(jìn)口KTL電阻絲。
保溫區(qū)溫度:室溫至400℃可調(diào);恒溫溫度隨時(shí)間和空間波動(dòng)不大于±1℃(測(cè)試方法符合國(guó)家計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)JJF 1184-2007)。
10.爐管尺寸280MM*3M,腔體采用三層石英管裝置,可以自動(dòng)進(jìn)出料,結(jié)構(gòu)可保證真空室管不受污染,保持較高的真空度。中層管取料方便,易于清洗,內(nèi)層料管分段升華后各段料容易區(qū)分,能最大限度的保證產(chǎn)品和純度和產(chǎn)率(最大升華率97%,與材料和配置有關(guān))。
11.腔體采用內(nèi)控溫和外控溫相互切換,防止石英折射和散射造成的溫場(chǎng)不均勻現(xiàn)象。
12.設(shè)備的正面端面都采用石英密封觀察窗,可以全方位無(wú)死角觀察生產(chǎn)中材料的提純情況,配上攝像系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)升華過(guò)程全監(jiān)控和記錄。
13.抽真空端采用了主管直徑280mm的分子泵直連,確保實(shí)驗(yàn)中高真空的需求,在直徑280mm直管中間加插板閥,插板閥的兩端加直徑3mm細(xì)管多孔旁抽支路,防止在初真空時(shí)抽速太大影響分子擴(kuò)散的方向,導(dǎo)致材料不均勻。