產(chǎn)品詳情
RTP快速升溫爐由我公司自主研發(fā)的功能強大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用國際先進制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實現(xiàn)自動分離，爐體上下兩半設(shè)計，可以自由打開，安全可靠。爐管尺寸180MM，可以直接放下5英寸的材料。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層，除能夠保持其能量的最低損耗，還能增強高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi)，在完美完成生產(chǎn)工藝的同時，也大大降低了間接污染試樣的可能性。并已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火，也可用于歐姆接觸快速合金，還可用于硅化物合金退火，氧化物生長，以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。采用雙管設(shè)計，是石墨烯的制作的最好手段，爐體和爐管可以自由滑動，氣體和溫度及真空之間可以同步控制，可以同時實現(xiàn)自動化工藝，配上電腦可以對溫度、真空和氣體流量實現(xiàn)控制。由于可以實現(xiàn)系統(tǒng)化控制，對于操作和實驗的重復(fù)性會非常有幫助，是實驗室必備的一款設(shè)備。
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項目
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主要技術(shù)指標
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數(shù)據(jù)
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規(guī)格型號
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BTF-1200C-RTP-180
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溫度控制
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溫度點
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1200℃
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額定溫度
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1100℃
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穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍
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100～1050℃
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溫度測量精度
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±0.2℃
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溫度控制重復(fù)性
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±1℃
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溫度控制精確度
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±1℃
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溫場均勻性
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±2℃
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溫度狀態(tài)工藝時間
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2～100（100～1050℃）
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升溫速率
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300℃/S
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降溫速率
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1～300，可以采用打開爐體降溫或移除爐管降溫同時啟動流量計閥控控制氣體冷卻
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溫度控制模式
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智能模糊全閉環(huán)控制
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觸摸屏尺寸
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7"LCD 工控電腦
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物理指標
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功率（KW）
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24
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額定電壓
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220V/AC380～400V 50-60HZ 自動匹配
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傳感器類型
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K型
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反應(yīng)腔室內(nèi)徑尺寸
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Φ180×580
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式樣有效空間
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6''
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抽氣端口尺寸
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KF25
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供氣口尺寸
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Φ6mm雙卡套
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冷卻方式
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自然冷卻或強迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2）
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外形凈尺寸
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長920×深500×高560mm
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重量
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約80Kg
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