哈默納科光刻機(jī)諧波齒輪CSF-17-50-2UH

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第13年

上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-17-50-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)三級(jí)軸的相對(duì)位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨樣品齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍50rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比32
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

這是一種典 型的負(fù)性光刻膠?？逻_(dá)公司的產(chǎn)品KPR膠即屬此類。 哈默納科光刻機(jī)諧波齒輪CSF-17-50-2UH感光樹脂在用近紫外光輻照成像時(shí)，光的波長會(huì)限 制分辨率（見感光材料）的提高。為進(jìn)一步提高分辨率 以滿足超大規(guī)模集成電路工藝的要求，必須采用波長更 短的輻射作為光源。由此產(chǎn)生電子束、X 射線和深紫外 (＜250nm)刻蝕技術(shù)和相應(yīng)的電子束刻蝕膠，哈默納科光刻機(jī)諧波齒輪CSF-17-50-2UHX射線刻蝕 膠和深紫外線刻蝕膠，所刻蝕的線條可細(xì)至1□m以下。 光刻機(jī) 光刻機(jī)用于將晶圓表面薄膜的特定部分除去的工藝設(shè)備，可以在晶圓表面會(huì)留下帶有微圖形結(jié)構(gòu)的薄膜。

刻蝕機(jī) 電子回旋共振等離子體刻蝕機(jī)涉及的是一種集成電路制作工哈默納科光刻機(jī)諧波齒輪CSF-17-50-2UH藝中的微電子芯片加工設(shè)備。結(jié)構(gòu)具有真空室、微波系統(tǒng)

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