產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點
l ? 三軸直驅結構設計 ? Z軸直驅平升結構
? 抗蠕動交叉滾柱導軌 ? 高精度指標
l ? 微動步距≤20nm ? 根據(jù)需求可定制
應用領域
RBN-XY-SG系列是一款高精度三軸精密運動臺，三軸疊層緊湊式結構，亞微米級精度用于飛秒激光加工、光學制造及檢測、基因測序和科研等領域。
結構特點
三軸直驅結構，電機具有零齒槽、高動態(tài)性能及電流噪聲小等特點，防蠕動交叉滾柱直線導軌導向，滾柱為線線接觸，運動平穩(wěn)，滾柱間交叉排列，多方向受力穩(wěn)定。XY軸疊層結構，行程50~200mm可選，Z軸直驅平升結構，直接移動負載升降，行程20~35mm，可選配抱閘功能，防止斷電掉落。
精度性能
非接觸式光柵閉環(huán)反饋，緊湊結構，獲得XY軸雙向重復定位精度±75nm，直線度和平面度±0.5μm；Z軸重復定位精度±0.075μm，直線度±0.5μm，是高精度場所的理想選擇。
微動步距
對有微動步距（最小位移量）要求的應用領域，如最小步距運動、對準應用等，微動步距≤20nm，對現(xiàn)場使用環(huán)境的要求，更多細節(jié)可聯(lián)系瑞邦精控。
定制化
根據(jù)應用可配置大理石基座、隔振器等整套運動控制方案。
規(guī)格指標
|
型號 |
單位 |
RBN-50-50-20SG |
RBN-100-100-35SG |
RBN-150-150-35SG |
RBN-200-200-35SG |
|||||
|
行程 |
mm |
50 x 50 |
20 |
100 x 100 |
35 |
150 x 150 |
35 |
200 x 200 |
35 |
|
|
補償后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
|
標準值 |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
||
|
雙向重復定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
|
標準值 |
±0.05 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.5 |
±0.15 |
±0.5 |
||
|
直線度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
|
標準值 |
±1 |
±3 |
±1 |
±4 |
±1 |
±4 |
±1.5 |
±4 |
||
|
平面度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.5 |
— |
±0.5 |
— |
±0.5 |
— |
±0.75 |
— |
|
標準值 |
±1 |
— |
±1 |
— |
±1 |
— |
±1.5 |
— |
||
|
Pitch Roll (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±2.5 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
|
標準值 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±7 |
±5 |
||
|
Yaw (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±1 |
±2 |
±1 |
±2 |
±1 |
±2 |
±2 |
±2 |
|
標準值 |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
±5 |
±5 |
||
|
電子分辨率 (3) |
nm |
0.3 或 5（選配） |
||||||||
|
最大速度 (空載) (4) |
mm/s |
100 |
10 |
200 |
10 |
200 |
10 |
200 |
10 |
|
|
最大負載 |
kg |
10 |
||||||||
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環(huán)境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決于平臺安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下的精度指標，最大速度和加速度取決于負載大小。
訂購信息
|
型號 |
RBN |
-50-50-20 |
-PLUS |
-N |
-1 |
-0 |
-C3 |
-3 |
-N |
-N |
|
描述 |
交叉滾柱運動臺 |
X軸行程50mm；Y軸行程50mm；Z軸行程20mm |
PLUS高精度版 |
默認 |
增量式光柵1Vpp反饋 |
零點在行程中心位置 |
坦克拖鏈 |
線纜長度3米 |
常壓環(huán)境 |
無大理石基座 |
|
名稱 |
型號 |
描述 |
|
多軸線軌運動臺 |
RBN |
交叉滾柱運動臺 |
|
行程 |
-50-50-20 -100-100-35 -150-150-35 -200-200-35 |
X軸行程50mm；Y軸行程50mm；Z軸行程20mm X軸行程100mm；Y軸行程100mm；Z軸行程35mm X軸行程150mm；Y軸行程150mm；Z軸行程35mm X軸行程200mm；Y軸行程200mm；Z軸行程35mm |
|
精度等級 |
-N -PLUS |
標準值 PLUS高精度版 |
|
電子分辨率 |
-N -0.3 -5 |
默認 電子分辨率0.3nm 電子分辨率5nm |
|
反饋方式 |
-1 -T -ABS |
增量式光柵1Vpp反饋 增量式光柵TTL反饋 絕對式光柵反饋 |
|
零點位置 |
-0 |
零點在行程中心位置 |
|
線纜管理 |
-DB -C2 -C3 -C4 |
DB接頭，無線纜管理 無塵拖鏈 坦克拖鏈 真空線纜 |
|
線纜長度 |
-3 -5 -DZ |
長度3米（標配） 長度5米 定制 |
|
氣壓環(huán)境 |
-N -VC |
常壓環(huán)境（標配） 真空環(huán)境 |
|
大理石基座 (1) |
-Y -N |
有大理石基座 無大理石基座（標配） |
注：1. 選真空環(huán)境下（-VC）使用，禁止選大理石基座
