產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 閉式氣浮結(jié)構(gòu) ? 直驅(qū)零齒槽效應(yīng)
l ? 定位精度±0.5arc sec ? 同步軸向跳動(dòng)誤差10nm
? 精準(zhǔn)回零誤差 ? 高速度穩(wěn)定性
? 解決氣浮軸抱死問(wèn)題 ? 立式或臥式使用
應(yīng)用領(lǐng)域
NOTE系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)具有高定位、速度穩(wěn)定性和同步納米級(jí)跳動(dòng)誤差，可立式或臥式使用，出色的跳動(dòng)誤差滿足晶圓加工及檢測(cè)、超精密加工、輪廓測(cè)量、高精度計(jì)量、光學(xué)檢測(cè)和MEMS/納米技術(shù)設(shè)備等高端行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
由無(wú)齒槽直驅(qū)力矩電機(jī)、閉式氣浮軸承和精密反饋裝置組成，徑向雙氣路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使徑向有出色的載荷力，安裝結(jié)構(gòu)上可選擇立式或臥式使用，且能組合AB氣浮軸，達(dá)到高正交性及高相交度。無(wú)齒槽設(shè)計(jì)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動(dòng)，無(wú)氣浮抱死問(wèn)題。
精度性能
NOTE系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的定位精度±0.5arc sec, 重復(fù)定位精度≤0.5arc sec, 同步軸向跳動(dòng)誤差10nm，同步徑向跳動(dòng)誤差50nm, 擺角誤差3μrad, 電動(dòng)控制和手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)跳動(dòng)誤差一致，使用壽命10年以上。
閉環(huán)反饋
圓光柵閉環(huán)反饋，運(yùn)用高性能控制系統(tǒng)，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上，氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)能精準(zhǔn)回到零點(diǎn)位置。
定制化
氣浮AB軸滿足曲面加工、測(cè)試的應(yīng)用?？啥ㄖ瓢惭b滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用。
規(guī)格指標(biāo)
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型號(hào) |
單位 |
NOTE-50 |
NOTE-100 |
NOTE-200 |
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行程 |
° |
360 |
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臺(tái)面直徑 |
mm |
80 |
114 |
148 |
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通孔直徑 |
mm |
10 |
20 |
40 |
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補(bǔ)償后定位精度 |
Plus (1) |
arc sec |
±0.5 |
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標(biāo)準(zhǔn)值 |
±1 |
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雙向重復(fù)定位精度 |
Plus (1) |
arc sec |
≤0.5 |
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標(biāo)準(zhǔn)值 |
≤1 |
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軸向跳動(dòng)誤差 (2) |
Plus (1) |
nm |
10 |
|||
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標(biāo)準(zhǔn)值 |
250 |
|||||
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徑向跳動(dòng)誤差 (2) |
Plus (1) |
nm |
50 |
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標(biāo)準(zhǔn)值 |
300 |
|||||
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擺角誤差 |
Plus (1) |
μrad |
3 |
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標(biāo)準(zhǔn)值 |
6 |
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電子分辨率 (3) |
arc sec |
＜0.01 |
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最大速度 (空載) (4) |
rpm |
300,（≥1000 定制） |
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最大負(fù)載 |
軸向 |
kg |
5 |
20 |
45 |
|
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徑向 |
3 |
12 |
27 |
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供氣壓力 (5) |
MPa |
0.5±0.05 |
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空氣消耗量 |
SL/min |
13 |
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自重 |
kg |
0.5 |
4.5 |
13 |
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材料 |
/ |
航空7075鋁合金（表面氧化處理） |
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注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面上25mm處，測(cè)試速度10deg/s，Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測(cè)量，精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如需非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢(xún)我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 軸向和徑向跳動(dòng)為同步跳動(dòng)誤差，測(cè)微儀和標(biāo)準(zhǔn)球測(cè)量，計(jì)算為最大值-最小值-標(biāo)準(zhǔn)球誤差-同心度。
3. 電子分辨率取決編碼器線數(shù)及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo)，最大轉(zhuǎn)速取決于負(fù)載大小。
5. 為保護(hù)氣浮軸承建議加裝壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過(guò)濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無(wú)水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無(wú)油（ISO8573-1級(jí)別1）。
訂購(gòu)信息
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型號(hào) |
NOTE |
-100 |
-PLUS |
-1 |
-3 |
-Y |
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描述 |
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) |
轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面直徑114mm |
PLUS高精度版 |
增量式光柵1Vpp反饋 |
線纜長(zhǎng)度3米 |
有壓力保護(hù)開(kāi)關(guān) |
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名稱(chēng) |
型號(hào) |
描述 |
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氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) |
NOTE |
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) |
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臺(tái)面 |
-50 -100 -200 |
轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面φ80mm 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面φ114mm 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面φ148 mm |
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精度等級(jí) |
-N -PLUS |
標(biāo)準(zhǔn)值 PLUS高精度版 |
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反饋方式 |
-1 -T -ABS |
增量式光柵1Vpp反饋 增量式光柵TTL反饋 絕對(duì)式光柵反饋 |
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線纜長(zhǎng)度 |
-3 -5 -DZ |
長(zhǎng)度3米（標(biāo)配） 長(zhǎng)度5米 定制 |
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壓力保護(hù)開(kāi)關(guān) |
-Y -N |
有壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)（標(biāo)配） 無(wú)壓力保護(hù)開(kāi)關(guān) |
