日本HD熱氧化加工諧波SHD-14-50-2SH

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第13年

上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)SHD-14-50-2SH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)單級(jí)軸的相對(duì)位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式擺線式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度硬齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩22N.m
使用范圍軍工減速比76
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

氧化(Oxidation)工藝的主要目的是在硅襯底表面形成SiO2氧化膜。日本HD熱氧化加工諧波SHD-14-50-2SH SiO2在微電子和微系統(tǒng)中的主要應(yīng)用包括：鈍化晶體表面，形成化學(xué)和電的穩(wěn)定表面，日本HD熱氧化加工諧波SHD-14-50-2SH即器件表面保護(hù)或鈍化膜；作為后續(xù)工藝步驟（擴(kuò)散或離子注入）的掩模（摻雜掩模、刻蝕掩模）；形成介質(zhì)膜用于器件間的隔離或作器件結(jié)構(gòu)中的絕緣層（非導(dǎo)電膜）；在襯底或其他材料間形成界面層（或犧牲層）。

    熱氧化是指在高溫爐中反應(yīng)，形成較厚的SiO2氧化層的過(guò)程，日本HD熱氧化加工諧波SHD-14-50-2SH也稱為熱生長(zhǎng)法。根據(jù)不同的作用，氧化層的厚度從60?-10000 ?。氧化溫度一般在900℃-1200℃。

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