哈默納科拋光加工諧波SHD-14-50-2SH ?

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第13年

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詳細參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號SHD-14-50-2SH,
類型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動比級數(shù)雙級軸的相對位置立式加速器
傳動布置形式分流式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨樣品齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途變速機
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率360kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩691N.m
使用范圍化工減速比60
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

清洗裝置和測量工具。

    盡管半導(dǎo)體制造工藝非常復(fù)雜，哈默納科拋光加工諧波SHD-14-50-2SH 但是產(chǎn)業(yè)界通常將這些復(fù)雜的工藝過程歸納為加法工藝、減法工藝、圖形轉(zhuǎn)移工藝及輔助工藝等工藝過程。

    加法工藝。包括摻雜和薄膜工藝，使用設(shè)備主要有擴散爐、離子注入機和退火爐。薄膜工藝包含氧化、化學(xué)氣相淀積、濺射和外延，使用設(shè)備包括氧化爐、CVD反應(yīng)爐、濺射鍍膜機和外延設(shè)備。哈默納科拋光加工諧波SHD-14-50-2SH 摻雜工藝中有擴散和離子注入工藝。

    減法工藝。是指刻蝕工藝，包括干法刻蝕和濕法腐蝕，使用設(shè)備包括濕法刻蝕機、反應(yīng)離子刻蝕機。

    圖形轉(zhuǎn)移工藝。主要方法為光刻工藝。使用設(shè)備有涂膠和顯影設(shè)備，以及光刻哈默納科拋光加工諧波SHD-14-50-2SH 機。 輔助工藝。主要包括拋光與清洗。拋光一般使用化學(xué)機械平坦化完成拋光工藝，使用設(shè)備有CMP拋光機、硅片清洗機等。

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