日本HD無(wú)塵設(shè)備諧波CSF-17-80-2A-R

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上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSF-17-80-2A-R
類(lèi)型諧波減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置立式加速器
傳動(dòng)布置形式擺線(xiàn)式加工定制
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度硬齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率35kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩691N.m
使用范圍礦產(chǎn)減速比464
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

設(shè)備也跟著分為四類(lèi):

(a)高溫爐管,(b)微影機(jī)臺(tái),(c)化學(xué)清洗蝕刻臺(tái),(d)電漿真空腔日本HD無(wú)塵設(shè)備諧波CSF-17-80-2A-R 室。其中(a)~(c)機(jī)臺(tái)依序?qū)?yīng)   (1)~(3)制程,而新近發(fā)展的第(d)項(xiàng)機(jī)臺(tái),則分別應(yīng)用于制程(1)與(3)。?由于坊間不乏介紹半導(dǎo)體制程及設(shè)備的中文書(shū)籍,故本文不刻意錦上添花,謹(jǐn)就筆者認(rèn)為較有趣的觀(guān)點(diǎn),日本HD無(wú)塵設(shè)備諧波CSF-17-80-2A-R 描繪一二!

(一)氧化(爐)(Oxidation)

對(duì)硅半導(dǎo)體而言,只要在高于或等于1050℃的爐管中,如圖2-3所示,通入氧氣或水汽,自然可以將硅晶的表面予以氧化,生長(zhǎng)所謂干氧層(dryz/gateoxide)或濕氧層(wet/fieldoxide)日本HD無(wú)塵設(shè)備諧波CSF-17-80-2A-R ,當(dāng)作電子組件電性絕緣或制程掩膜之用。氧化是半導(dǎo)體制程中,最干凈、單純的一種;這也是硅晶材料能夠取得優(yōu)勢(shì)的特性之一

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