產(chǎn)品詳情
?腔體采用不銹鋼材料,保證系統(tǒng)材料的穩(wěn)定性;
?采用15.56Mhz射頻電源,清洗更徹底;
?支持自動手動模式,方便客戶靈活操作;
?智能自動模式:可以設(shè)置為2次清洗,2次進氣,每次清洗時間,進氣穩(wěn)定時間都可以設(shè)定;
?手動模式:手動模式下,系統(tǒng)可以啟動定時功能,清洗時間到,系統(tǒng)自動停止工作;
?氣壓穩(wěn)定功能(選配):根據(jù)需要可以配置輸出比例閥控制氣體的流速,均衡腔體內(nèi)壓力;
?智能氣路功能(選配):根據(jù)需要,可以配置質(zhì)量
?流量計系統(tǒng),可以設(shè)置不同的清洗段落配置不同氣體的流速;
?等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。