連續(xù)進出料可回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)

數(shù)量(臺) 價格
999 1.00元/臺
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  • 發(fā)布日期:2019-10-22
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  • 營業(yè)執(zhí)照:已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式: 生產(chǎn)加工-私營合伙企業(yè)
  • 所在地區(qū):安徽 合肥市
  • 家家通積分:2223分
詳細參數(shù)
品牌BEQ型號BTF-1200C-II-R-CVD
電源其他加工定制
外形尺寸其他

產(chǎn)品詳情

1、主要特點

該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn),有助于粉料的燒結(jié)更均勻,可大角度傾斜,方便進出料,傾斜角度在0-35°之間。

 

2、設(shè)備組成:加熱系統(tǒng),進料系統(tǒng),出料系統(tǒng),氣體控制系統(tǒng),低真空系統(tǒng),爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng),電控操作系統(tǒng)。

 

1加熱系統(tǒng):

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號,同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

 

額定功率

4KW

額定電壓

AC220V  50/60Hz

最高溫度

1200度

使用溫度

1100度

爐管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

 

爐管旋轉(zhuǎn)速率

0~60r/min

爐體傾斜角度

0~35°

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,

操作界面為10”液晶觸摸屏控制

加熱長度

200mm+200mm

恒溫長度

250mm

加熱元件

電阻絲

 

 

(2)進料系統(tǒng):

送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體傾斜最大時,物料不會從送料系統(tǒng)外漏,送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸后可手動加料,設(shè)備可正常運行。

(3)出料系統(tǒng):

出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時可自動出料。

(4)氣體控制系統(tǒng):

該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進行混合配比的,也可以獨立控制,質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動的機柜內(nèi),由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

 

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程(N2)

第一路:  200 SCCM

第二路:  500 SCCM

第三路量程可選

準確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

 

 

(5)低真空系統(tǒng):

該系統(tǒng)配備真空機械泵,可以抽真空,可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進行反應(yīng)。

  

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連

 

(6)爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng):

爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào),且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運行。

3.技術(shù)指標:

 

(1)該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn),管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;

 

(2)整個爐子和送料、收料系統(tǒng)能夠一起傾斜,方便出放料,傾斜角度在0~35°之間可調(diào);

 

(3)送料系統(tǒng)送料速度連續(xù)可調(diào),停止送料且爐體最大傾斜時,物料不從送料系統(tǒng)外漏。送料系統(tǒng)方便拆卸,拆卸之后可以手動加料,設(shè)備可正常運行。

 

(4)爐管回轉(zhuǎn)穩(wěn)定,不會上下左右跳動;轉(zhuǎn)速在0~60r/min連續(xù)可調(diào),能在60r/min轉(zhuǎn)速下連續(xù)長期運轉(zhuǎn)(>24h)。

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