太陽能光伏擴(kuò)散爐 青島福潤(rùn)德

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第1年

青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌其他型號(hào)擴(kuò)散爐
類型其他加工定制是
規(guī)格尺寸其他

產(chǎn)品詳情

太陽能擴(kuò)散爐主要滿足光伏電池生產(chǎn)線對(duì)125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、單晶硅硅片進(jìn)行擴(kuò)散工藝。目前有第二代閉管擴(kuò)散爐和第三代軟著陸擴(kuò)散爐。 
技術(shù)指標(biāo)：
可處理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm
外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)
載片量：400片／管
擴(kuò)散方式：閉管擴(kuò)散、軟著陸全封閉
工作溫度：200℃—1300℃
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200mm—1100mm≤±1℃
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性： ≤±1℃／24h
溫度控制：5段控溫
總功率：120KVA
送片裝置：懸臂推拉舟，碳化硅槳最大載重17kg
氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：進(jìn)口MFC
控制方式：工控機(jī)、觸摸屏
Thinnerwafers：180Um
Break rate：0.8％
方阻均勻度范圍：片內(nèi)±5％，片間±5％，批間±5％

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