太陽能光伏擴散爐 青島福潤德

數(shù)量(臺) 價格
1 1.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發(fā)貨地址： 山東 青島市
  • 發(fā)布日期：2024-09-24
  • 訪問量：77
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第1年

青島福潤德微電子設備有限公司

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  • 經(jīng)營模式： -
  • 所在地區(qū)：山東 青島市
  • 家家通積分：570分

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詳細參數(shù)
品牌其他型號擴散爐
類型其他加工定制是
規(guī)格尺寸其他

產品詳情

太陽能擴散爐主要滿足光伏電池生產線對125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、單晶硅硅片進行擴散工藝。目前有第二代閉管擴散爐和第三代軟著陸擴散爐。 
技術指標：
可處理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm
外型形式：臥式1—4管結構
載片量：400片／管
擴散方式：閉管擴散、軟著陸全封閉
工作溫度：200℃—1300℃
恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±1℃
單點溫度穩(wěn)定性、重復性： ≤±1℃／24h
溫度控制：5段控溫
總功率：120KVA
送片裝置：懸臂推拉舟，碳化硅槳最大載重17kg
氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管
氣體控制：進口MFC
控制方式：工控機、觸摸屏
Thinnerwafers：180Um
Break rate：0.8％
方阻均勻度范圍：片內±5％，片間±5％，批間±5％

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