產(chǎn)品詳情
OR4000 多通道光纖測溫儀 (OFT) 基于非常成功的 OR2000 產(chǎn)品系列開發(fā)，為眾多溫度測量應用提供了業(yè)界領(lǐng)先的非接觸性溫度測量。 OR4000T 向要求最苛刻的溫度測量應用提供多通道功能和高達 2 kHz 的讀取速率。 OR4000E 還增添了實時輻射率補償功能。 該儀器采用模塊化設(shè)計，能夠快速調(diào)整以滿足各個工藝應用的獨特要求。
OR4000T 用于快速熱處理 (RTP)、激光退火、高密度電漿化學氣相沉積(HDP-CVD)、金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)、原子層沉積 (ALD)、紫外線硬化、太陽能電池封裝和硬盤 (HDD) 處理。
OR4000E 用于外延 (Epi)、化學氣相沉積 (CVD)、金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD)以及襯底發(fā)射率發(fā)生變化的其他工藝。
OR4000T 和 OR4000E 都提供了高速性能，讀取速率高達 2 kHz，可以精確跟蹤快速的溫度變化。? 在動態(tài)應用中，這可以實現(xiàn)閉環(huán)溫度控制并優(yōu)化工藝良品率。
