產(chǎn)品詳情
DLC俗稱類金剛石，是英文“DIAMOND-LIKE CARBON”一詞的縮寫。DLC是一種由碳元素構(gòu)成、在性質(zhì)上和鉆石類似，同時(shí)又具有石墨原子組成結(jié)構(gòu)的物質(zhì)。類金剛石薄膜（DLC）是一種非晶態(tài)薄膜，由于具有高硬度和高彈性模量，低摩擦因數(shù)，耐磨損以及良好的真空摩擦學(xué)特性，很適合于作為耐磨涂層，從而引起了摩擦學(xué)界的重視。目前制備DLC薄膜的方法很多，有熱沉積、磁控、氣象沉積、電弧沉積、離子源沉積等， 不同的制備方法所用的碳源以及到達(dá)基體表面的離子能量不同， 沉積的DLC 膜的結(jié)構(gòu)和性能存在很大差別， 摩擦學(xué)性能也不相同。
該設(shè)備采用PVD+CVD工藝模式，可以沉積厚度在3微米以內(nèi)的純正DLC膜層，設(shè)備可配備離子源，進(jìn)一步提高結(jié)合力。
一、設(shè)備配置：
1、粗抽泵+分子泵
2、質(zhì)量流量計(jì):4路
3、真空計(jì)：薄膜規(guī)1個(gè)，全量程真空計(jì)1個(gè)
4、電源：直流電源等3套
5、離子源：1套
二、DLC膜層性能
1、硬度在HV2000-2500之間
2、低摩擦系數(shù)：0.1左右
3、高絕緣性能：電阻測(cè)量在10M歐以上
三、類金剛石膜(DLC)的應(yīng)用
1、DLC膜可廣泛應(yīng)用于各類工具、模具和刀具，如鉆頭、銑刀、光盤模具、沖模、塑料成型模、玻璃成型模和鎂合金加工模具等。
2、滑動(dòng)部件，如軸承、齒輪等。
3、汽車零部件：燃料噴射系統(tǒng)（氣門挺桿）、柱塞、噴油針等）、動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)（齒輪、滾動(dòng)軸承等）、活塞部件（活塞環(huán)、活塞銷等）、凸輪軸部件（銷、襯套、搖臂及部分液壓元件等）和其他部件（如門鎖、內(nèi)飾等）
