產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品描述
X軸納米定位線性位移臺是基于壓電控制的線性位移臺，行程包括12/30/45/60μm及可定制其他行程版本，本系列產(chǎn)品包含X、XY可供用戶選擇。該壓電納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分（可提供大功率控制器，進(jìn)行高速運動）。二維產(chǎn)品型號為PS2H45-xx。
PS1H45系列壓電納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅(qū)動元件，利用有限元優(yōu)化的固態(tài)撓性導(dǎo)向系統(tǒng)可確保完美的平移運動。平臺采用了無摩擦柔性機構(gòu)，壓電位移臺無需維護(hù)，無磨損，并具有快速響應(yīng)和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于動態(tài)過程，例如高頻誤差補償，跟蹤，快速步進(jìn)或連續(xù)掃描等。閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復(fù)的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。
X軸納米定位線性位移臺是基于壓電控制的線性位移臺，行程包括12/30/45/60μm及可定制其他行程版本，本系列產(chǎn)品包含X、XY可供用戶選擇。該壓電納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分（可提供大功率控制器，進(jìn)行高速運動）。二維產(chǎn)品型號為PS2H45-xx。
PS1H45系列壓電納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅(qū)動元件，利用有限元優(yōu)化的固態(tài)撓性導(dǎo)向系統(tǒng)可確保完美的平移運動。平臺采用了無摩擦柔性機構(gòu)，壓電位移臺無需維護(hù)，無磨損，并具有快速響應(yīng)和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于動態(tài)過程，例如高頻誤差補償，跟蹤，快速步進(jìn)或連續(xù)掃描等。閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復(fù)的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。
壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現(xiàn)的。若要安裝到具有標(biāo)準(zhǔn)柵格的光學(xué)平臺或其他組件上，請使用轉(zhuǎn)接板轉(zhuǎn)接。在緊固過程中，應(yīng)避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側(cè)向力，這些外力可能會損壞位移臺。
產(chǎn)品特性
—高速運動、直接驅(qū)動
—設(shè)計小巧緊湊
—閉環(huán)控制
—可堆疊進(jìn)行XY運動
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接工裝
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可組維、可定制其他行程
應(yīng)用領(lǐng)域
—掃描顯微鏡、光纖端面檢測
—干涉儀、測量技術(shù)、3D錫膏檢測
—光子、光纖定位、干涉
—納米光刻、納米定位、電化學(xué)加工
