產(chǎn)品詳情
中型等離子清洗機(jī):
主要應(yīng)用于LCD、連接器、鍵合前等大規(guī)模生產(chǎn)領(lǐng)域。
特點(diǎn):所有元器件及核心部件采用進(jìn)口,保證了整機(jī)的穩(wěn)定性和使用壽命。
真空泵采用進(jìn)口旋片泵,是適用于等離子工藝環(huán)境使用的可長(zhǎng)時(shí)間工作的體系,在抗氧化、耐腐蝕等諸多方面積累了豐富的經(jīng)驗(yàn),使泵的壽命大大提高,并有效降低了泵的維護(hù)成本,泵的各項(xiàng)保護(hù)措施完善,提高了長(zhǎng)時(shí)間工作極限,泵油為耐高溫、抗氧化油,泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系,無需水冷。泵體內(nèi)置于機(jī)柜內(nèi)部,使機(jī)器緊湊,占地面積小。
控制方式:自動(dòng)控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制,所有工藝參數(shù)、工藝過程實(shí)時(shí)監(jiān)控,并顯示運(yùn)行狀態(tài)、報(bào)警記錄和工藝曲線記錄、工作時(shí)間記錄,適合維護(hù),可以提供工藝參考。
標(biāo)準(zhǔn)型號(hào):NT-60、NT-80、NT-100、NT-120、NT-150。
◎可存儲(chǔ)50組工藝配方,隨意調(diào)用。
◎清洗時(shí)間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設(shè)定可調(diào)。
◎工藝參數(shù)受密碼保護(hù),分級(jí)密碼管理查詢。
◎一鍵完成全自動(dòng)工藝,實(shí)時(shí)故障報(bào)警、非法操作提示、清潔結(jié)束提示等。
◎自動(dòng)提醒系統(tǒng)維護(hù)、更換真空泵油等,避免機(jī)器過載、過老化情形下工作,延長(zhǎng)使用壽命。
◎氣體質(zhì)量流量計(jì)采用美國進(jìn)口,由模擬輸入輸出,量程為0~200sccm可在量程范圍內(nèi)無級(jí)調(diào)節(jié),根據(jù)特殊的工藝要求可用PLC可對(duì)質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行PID調(diào)節(jié)而實(shí)現(xiàn)真空度的控制。
◎根據(jù)特殊的工藝要求可使用干泵,尾氣處理設(shè)備,油過濾器,過濾返油裝置等。電極結(jié)構(gòu)(專利)的高等離子通量設(shè)計(jì)能很好地提高等離子體地均勻性及穩(wěn)定性。
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