產(chǎn)品詳情
日本Horiba STEC SEC-Z500系列氣體質(zhì)量流量控制器適用于提高工藝產(chǎn)量和簡(jiǎn)化零件管理。數(shù)字/模擬、DeviceNet?和EtherCAT通信都可用。
日本Horiba STEC SEC-Z500系列氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
SEC-Z500X是HORIBA暢銷的數(shù)字質(zhì)量流量控制器模型。它具有多范圍/多氣體功能，使用戶能夠快速、方便地改變氣體類型或現(xiàn)場(chǎng)全流量。
該質(zhì)量流量控制器具有高精度+/-1.0%S.P、壓電致動(dòng)閥、高速響應(yīng)和全金屬特性，適用于提高工藝產(chǎn)量和簡(jiǎn)化零件管理。數(shù)字/模擬、DeviceNet?和EtherCAT通信都可用。
多范圍/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器 這是HORIBA最暢銷的數(shù)字質(zhì)量流量控制器的型號(hào)。它具有多量程/多氣體功能，使用戶能夠快速、方便地改變氣體類型或現(xiàn)場(chǎng)滿量程流速。 高精度+/- 1.0% S.P，壓電執(zhí)行器閥門，高速響應(yīng)和全金屬，這種質(zhì)量流量控制器適用于提高工藝產(chǎn)量和簡(jiǎn)化零件管理。數(shù)字/模擬、DeviceNet?和EtherCAT®通信均可使用。 高精度±1.0% S.P. 該質(zhì)量流量控制器的線性由多項(xiàng)式近似曲線補(bǔ)償，并在所有流量控制范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了高精確度。為了提高實(shí)際氣體的精度，各種工藝氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)由HORIBA STEC的標(biāo)準(zhǔn)氣體測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量。 高速響應(yīng) 安裝有 "可變PID系統(tǒng)"，可以在任何兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn)1秒的響應(yīng)。可變PID根據(jù)流量點(diǎn)的設(shè)定而不斷變化。這樣，當(dāng)滿量程流量和氣體發(fā)生變化時(shí)，PID系數(shù)可以得到優(yōu)化。 多氣體/多范圍解決方案 配置軟件使得快速和方便地改變規(guī)格成為可能。一個(gè)關(guān)鍵的特點(diǎn)是，無需從氣體面板或管道上拆下質(zhì)量流量控制器就可以進(jìn)行更改。這就減少了所需的備用質(zhì)量流量控制器的數(shù)量；節(jié)省了時(shí)間和成本。 質(zhì)量流量控制器SEC-Z500X適用于各種應(yīng)用以及半導(dǎo)體制造。
