產(chǎn)品詳情
1. 主體：全封閉框架結(jié)構(gòu)，真空室為前開門方式，機柜和主機為一體式機構(gòu)。采用優(yōu)質(zhì)0Cr18Ni9不銹鋼材料（SUS304），箱體尺寸為不小于φ350X400mm。設置DN100觀察窗口，位于真空腔體門正前方，骨架默認白色（或鋁合金本色），門板為白色，四只腳輪，可固定，可移動。室體、真空機組、磁控靶等有斷水報警鎖定安全裝置，能夠防止停水后出現(xiàn)安全隱患。
2. 真空系統(tǒng)：
2.1極限真空度：≤6.63×10－4Pa（空載、經(jīng)充分烘烤除氣并充干燥氮氣）。
2.2真空配置：高速直聯(lián)旋片泵一臺，抽速大于6L/S，超高分子泵一臺，抽速600L/s。
2.3真空測量：兩路電阻規(guī)，一路電離規(guī)；對真空室和真空管道分別精確監(jiān)控，帶數(shù)據(jù)通訊。
3. 工件架系統(tǒng)：單工位4英寸工件盤，工件盤可加熱至500攝氏度，工件架真空室底部安裝，便于更換基片，轉(zhuǎn)速3～30rpm。
4. 照明裝置：照明裝置1套。
5. 磁控濺射系統(tǒng)：配置2-3個Φ50mm磁控靶，安裝于真空室頂部，向下濺射成膜。
6.充氣系統(tǒng)：二路分別配置質(zhì)量流量控制器，分別為0-100SCCM 1只，0-200SCCM1只，準確度±1% F.S，線性±0.5 % F.S，重復精度±0.2% F.S。
7.循環(huán)冷卻水路：配置冷水機組與空壓機。
8.電氣控制系統(tǒng)：采用功能化模塊設計方式，匹配西門子控制單元和MCGS人機界面，實現(xiàn)真空系統(tǒng)的自動控制，基本工作單元的控制，安全報警及故障信息顯示，并通過文字方式提示，軟件的功能和模塊可以根據(jù)實際需求進行單列或合并，但不得減少功能。
