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ERT光譜共焦傳感器測量厚度
這個模式是用來測量單層透明樣品的厚度的，傳感器找出兩個譜峰，分別是透明樣品的兩個面反射光（后向散射）形成的。如果如預期的檢測到兩個譜峰，傳感器計算出第一個面的距離和光強（前表面，即，最近的面），第二個面的距離和光強（背面），還有厚度。所有這些數據同時可以用。
重要：為了能獲得一個有效的測量數據，在厚度模式下，在傳感器中應該設置正確的折射率。
距離和光強的含義和CCI/Distance模式一樣。
Distance2和Thickness數據都取決于折射率參數。為了保證這些數據的真是性，傳感器必須設置正確的折射率。特殊的，在CCI模式下，測得的厚度和折射率參數成正比。
備注：由于折射率的存在，實際測得的Thickness和Distance2可能比測量范圍大。
5.3.1 最小可測量的厚度
待測樣品的厚度必須大于或等于所用測頭的 最小可測量的厚度 ，如果樣品厚度小于這個界限，兩個譜峰很接近使傳感器無法分辨和解析它們，所
以傳感器只能將兩個譜峰當做一個峰值。最小可測量厚度正比于測量材料的折射率，電子目錄中的值是對于折射率為1.5的樣品來測定的。當測量一個氣隙（折射率為1.0）時，測得的值應該除以1.5.
5.3.2 最大可測量厚度
待測樣品的厚度必須小于或等于所用測頭的 最大可測量的厚度 。如果樣品厚度大于這個界限，兩個譜峰距離很遠使得至少一個超出了測頭的量程。
最大可測量厚度正比于測量材料的折射率，電子目錄中的值是對于折射率為1.5的樣品來測定的，當測量一個氣隙（折射率為1.0）時，測得的值應該除以1.5。
