日本HD光刻工藝諧波CSG-20-80-2UH

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第14年

上海浜田實(shí)業(yè)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號(hào)CSG-20-80-2UH
類型諧波減速器載荷狀態(tài)強(qiáng)沖擊載荷
傳動(dòng)比級(jí)數(shù)雙級(jí)軸的相對(duì)位置臥式減速器
傳動(dòng)布置形式同軸式加工定制是
樣品或現(xiàn)貨樣品齒面硬度硬齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機(jī)
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩22N.m
使用范圍軍工減速比564
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

晶圓制造工藝過(guò)程

    半導(dǎo)體芯片制造即晶圓制造是一個(gè)非常復(fù)雜的過(guò)程。日本HD光刻工藝諧波CSG-20-80-2UH在半導(dǎo)體制造工藝中COMS技術(shù)具有代表性，我們以COMS工藝為例說(shuō)明半導(dǎo)體制造的基本流程。為COMS工藝流日本HD光刻工藝諧波CSG-20-80-2UH程中的主要制造步驟，基本工藝過(guò)程包括硅片氧化工藝、在氧化硅表面涂敷光刻膠、使用紫外光曝光、曝光后顯影露出氧化硅表面、刻蝕氧化硅表面、去除未曝光的光刻膠、形成柵氧化硅、多晶硅淀積、多晶硅光刻及刻蝕、離子注入、形成有源區(qū)、氮化硅淀積、日本HD光刻工藝諧波CSG-20-80-2UH接觸刻蝕、金屬淀積與刻蝕。

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