產(chǎn)品詳情
名稱:大型龍門自動測量儀
金屬貼片尺分辨率:X/Y/Z軸0.0002mm(0.2um)
測量精度:≤3um+L/200
重復(fù)精度:≤3um X/Y/Z軸臺達(dá)閉環(huán)高性能伺服電機(jī),雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)
鏡頭: 電動變倍高清主鏡體/連續(xù)光學(xué)倍率0.7X~5.0X/影像倍率:28X~165X
光源系統(tǒng):表面光源/冷光源背光/同軸光系統(tǒng)(選配)
X/Y行程(mm):600*800 / 1000*1200 /1200*2000…(均可定制)