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用于微磁傳感器的非晶絲主要有兩種,一種是水紡絲,另一種是玻璃包覆非晶絲。水紡絲的直徑較大(125μm),需要進(jìn)一步拉拔成細(xì)絲使用;玻璃包覆非晶絲的直徑較小,通過一道工序就能夠制備成 10-50μm 的細(xì)絲。隨著器件的小型化,目前的微磁傳感器多數(shù)采用玻璃包覆非晶絲。典型的玻璃包覆非晶絲的形貌如圖 1 所示,芯部為非晶合金絲,外皮為玻璃。
圖 1 玻璃包覆非晶絲的顯微形貌
用于微磁傳感器的鈷基非晶絲的典型性能如表 1 所示,其中 Hk 為非晶絲的磁各向異性場,該數(shù)值對應(yīng)于微磁傳感器的量程,如 Hk 為 0.2 Oe,那么所制成的微磁傳感器的量程約為±0.2 Oe。
表1 用于微磁傳感器的鈷基非晶絲的典型性能