產(chǎn)品詳情
等離子清洗機(jī)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備,是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉(cāng)體,采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù),使其有效容積增大,不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配,且控制頻率穩(wěn)定。真空倉(cāng)門有觀察窗,可直觀物體的處理過(guò)程,其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi),即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較,從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作,特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn)
樣品清洗 和教學(xué)。
滾筒等離子清洗機(jī)針對(duì)粉末或者顆粒的360度表面處理設(shè)備,通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)石英攪拌罐使樣品處于懸空位置達(dá)到360度清洗。
設(shè)備型號(hào) |
KT-Z2DQX |
KT-S2DQX |
KT-Z5DQX |
KT-S2GQX |
供電電源 |
AC220V(AC110V可選) |
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工作電流 |
整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
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射頻電源功率 |
1000W |
150W |
300W |
150w |
射頻頻率 |
40KHz |
13.56MHz |
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耦合方式 |
電容耦合 |
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真空度 |
≤50Pa |
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腔體材質(zhì) |
高純石英 |
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腔體容積 |
2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) |
2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) |
5L(內(nèi)徑160MMX深度310MM) |
φ100x200mm |
觀察窗內(nèi)徑 |
Φ50 |
Φ50 |
Φ70 |
無(wú) |
氣體流量 |
10—100ml/min(其他量程可選) |
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過(guò)程控制 |
過(guò)程自動(dòng)控制 |
過(guò)程手動(dòng)控制 |
過(guò)程自動(dòng)控制 |
過(guò)程手動(dòng)控制 |
清洗時(shí)間 |
自動(dòng)開關(guān) |
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開蓋方式 |
鉸鏈側(cè)開式法蘭 |
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外形尺寸 |
150*500*250mm |
450*460*370mm |
530*580*420mm |
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重量 |
20kg |
35kg |
40kg |
40Kg |
真空室溫度 |
小于65°C |
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冷卻方式 |
強(qiáng)制風(fēng)冷 |
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標(biāo)配 |
KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說(shuō)明書一本。 |