產(chǎn)品詳情
是真正涂布粘著在晶圓上之?dāng)?shù)十甚至數(shù)百倍,極其可惜;哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH因為甩到晶圓外的光阻中有機溶劑迅速揮發(fā)逸散,成份大變,不能回收再使用。
5、厚光阻
德國Karl-Suss公司開發(fā)了一種新型的光阻涂布機,哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH稱為GYRSET??,其賣點在于強調(diào)可減少一半的光阻用量,且得出更均厚的光阻分布。其原理極為單純:只是在真空轉(zhuǎn)臺上加裝了跟著同步旋轉(zhuǎn)的蓋子。如此一來,等于強迫晶圓與蓋子之間的空氣跟著旋轉(zhuǎn),那么光阻上便無高轉(zhuǎn)速差哈默納科涂布機諧波齒輪SHF-40-80-2UH的粘性旋轉(zhuǎn)拖曳作用。故光阻在被涂布時,其與周遭流體之相對運動并不明顯