產(chǎn)品詳情
日本光馳OTFC-1550MM光學(xué)鍍膜機(jī)含安裝調(diào)試出售介紹
OTFC-1550光學(xué)鍍膜機(jī)配置
|
真空室：SUS304,Ф1550*1800MM |
|
工件架：Ф1400 |
|
工件架轉(zhuǎn)速：10rpm to 30rpm (可變) |
|
光學(xué)膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A |
|
光學(xué)膜厚監(jiān)控儀：波長(zhǎng)范圍: 350nm to 1100nm |反射式 |
|
水晶式膜厚計(jì)：XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器 |
|
蒸發(fā)源：2套日本電子24P雙槍 |
|
離子源：23 寸光馳RF離子源 |
|
排氣系統(tǒng)：機(jī)械泵1個(gè)，擴(kuò)散泵Polycold 275機(jī)械泵+愛(ài)德華配套羅茨泵 |
|
性能 |
|
達(dá)到壓力：7. 0X10-5Pa以下 |
|
排氣時(shí)間：20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa) |
|
基板溫度： 350C |
|
工作條件 |
|
|
|
電源：3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA |
|
水流量：180升/分以上 |
|
空氣壓力：0.5MPa以上 |
|
重量：約11000kg |
1、光學(xué)真空鍍膜設(shè)備主要部件制造所用原材料應(yīng)符合相應(yīng)材料標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，并具有質(zhì)量證書(shū)。
二、設(shè)備零件的機(jī)械加工質(zhì)量和焊接質(zhì)量應(yīng)符合制造商技術(shù)文件的規(guī)定。
3、設(shè)備的裝配質(zhì)量應(yīng)符合制造商技術(shù)文件的規(guī)定。裝配時(shí)，應(yīng)有效清潔和干燥工作中真空部件的表面。裝配后，運(yùn)動(dòng)部件應(yīng)靈活穩(wěn)定。
4、設(shè)備涂層沉積源、離子轟擊、工件偏壓、工件加熱、膜厚監(jiān)測(cè)等設(shè)備應(yīng)逐項(xiàng)調(diào)試，性能應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，運(yùn)行可靠。設(shè)備應(yīng)在工件加熱過(guò)程中正常運(yùn)行。
5、設(shè)備配備的自制或采購(gòu)的泵、閥、表、計(jì)等機(jī)電部件均符合相應(yīng)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，并應(yīng)具有質(zhì)量證書(shū)或經(jīng)廠家檢驗(yàn)部門(mén)檢驗(yàn)合格后方可使用。
六、配套設(shè)備的電氣設(shè)備的制造質(zhì)量應(yīng)符合制造商技術(shù)文化的規(guī)定，并保證設(shè)備運(yùn)行的安全可靠。裝置中線路的布置應(yīng)整齊清晰，便于維護(hù)。裝置中各電路的絕緣電阻值為500V對(duì)于501-10000，以下不得低于2V，不得低于2.5；對(duì)于1001-3000V，不得低于3.5，對(duì)于3001-10000V，不得低于6
七、設(shè)備漆面應(yīng)光滑、美觀、牢固，無(wú)剝落脫皮現(xiàn)象。
日本光馳OTFC-1550MM光學(xué)鍍膜機(jī)含安裝調(diào)試出售照片
