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722A12TCD2FA MKS真空計壓力計722A12TCD2FA深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
美國MKS真空計（Vacuum Gauge），c真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。
按照美國MKS真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的美國MKS真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的美國MKS真空計。
美國MKS流量計型號及功能原理介紹，美國MKS流量計利用力學性能的美國MKS真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學效應(yīng)的典型美國MKS真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型美國MKS真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
波爾登規(guī)（Bourdon）
波爾登規(guī)
波爾登規(guī)
細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī)
薄膜電容規(guī)
美國MKS流量計在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。
這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學性能的影響，使用前一般需要預熱數(shù)小時。
皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī)
皮拉尼電阻規(guī)
也叫做熱電阻美國MKS真空計，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。
美國MKS流量計由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。
如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準確度。
這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同氣體在相同氣壓時導熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標定。
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)
熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。
測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標定。
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)
熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標定。
冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī)
冷陰極電離規(guī)冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。
這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。
美國MKS 主要產(chǎn)品：MKS流量計,MKS薄膜真空計,MKS傳感器,MKS開關(guān),MKS壓力傳感器,MKS真空硅,MKS發(fā)生器,MKSMKS氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,MKS壓力控制閥。
