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島津是領(lǐng)先的渦輪分子泵(TMP)制造商之一TMP-2404/3304/4304維修

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深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

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詳細(xì)參數(shù)
品牌島津型號UFC-8560
類型手持式壓力計(jì)加工定制
測量范圍真空精度等級1
最大工作壓力1適用范圍1
產(chǎn)地美國

產(chǎn)品詳情


mks真空壓力計(jì)141A-24713 1-100Torr全

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司維修銷售島津分子泵深入創(chuàng)新工程,了解島津渦輪分子泵核心

島津是領(lǐng)先的渦輪分子泵(TMP)制造商之一。島津TPM主要用于為制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池和平板顯示器提供不可或缺的高真空環(huán)境。
島津生產(chǎn)的TMP具有國際水準(zhǔn)的氣體吞吐量和抽氣速度,可滿足日益嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造的工藝需求。例如,使制造商能夠在大面積硅片上沉積和蝕刻半導(dǎo)體薄膜。


通過渦輪機(jī)的高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生真空環(huán)境,TMP的抽真空效果已達(dá)到分子流級。制造半導(dǎo)體和平板顯示器需要清潔、無油的真空環(huán)境,以保持出色的設(shè)備操作狀態(tài)。島津提供的技術(shù)性能、可靠性和全球技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò)使島津TMP成為這類應(yīng)用領(lǐng)域中不可或缺的組成部分。島津生產(chǎn)多陣容TMP產(chǎn)品系列。各系列產(chǎn)品具有不同的用途。

除溫度控制功能和特殊耐腐蝕涂層外,具備高氣體吞吐量的TMP-2404/3304/4304系列的抽速范圍為2100 L/s至4400 L/s,具有潛在的多種應(yīng)用領(lǐng)域。
外形緊湊節(jié)能型TMP-X1605/V2304系列中的每一種型號的TMP均具備集成電源組件,其功耗比具有獨(dú)立電源組件的型號低15 %。
除集成電源外,TMP-X3405/X4304系列還具備溫度控制功能和耐腐蝕涂層,能滿足制造半導(dǎo)體和平板顯示器(FPD)中對工藝流程的嚴(yán)格要求。
此外,TMP-203至1003系列的眾多產(chǎn)品還具備出色的壓縮比和極限壓力水平,可實(shí)現(xiàn)高真空。

而且,TMP-5305系列具有5300 L/s的高級別氣體吞吐和抽氣速度,預(yù)計(jì)可用于下一代450 nmm半導(dǎo)體晶圓加工。
島津制作所半導(dǎo)體儀器事業(yè)部渦輪分子泵BU R&D小組BU長太田知男表示:“目前,我們在磁懸浮TMP領(lǐng)域已經(jīng)占領(lǐng)了30 %的全球市場份額?!薄皪u津TMP在全球的普及反映了我們?yōu)闈M足不斷變化的行業(yè)需求而提供的創(chuàng)新設(shè)計(jì)和全球技術(shù)支持的歷史?!?br /> 事實(shí)上,島津TMP的原型是為了用于位于神戶的日本快速的超級計(jì)算機(jī)設(shè)計(jì)而成的。太田知男說:“島津工程師使用了尖端建模技術(shù)來模擬TMP性能?!薄拔覀兯械纳逃肨MP系統(tǒng)均在島津內(nèi)部制造完成。通過這種方式,我們確保了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能?!?

新型TMP具備更新的軸承結(jié)構(gòu),適用于下一代應(yīng)用領(lǐng)域

2014年,島津推出了具備創(chuàng)新設(shè)計(jì)的TMP-B300“混合軸承”渦輪分子泵系列,該系列可應(yīng)用于質(zhì)譜儀和掃描電子顯微鏡等需要生成超高真空的分析科學(xué)研究領(lǐng)域。TMP-B300系列主要針對分析科學(xué)應(yīng)用和通用設(shè)備的小型TMP市場開發(fā)而成,該領(lǐng)域的市場規(guī)模為1.5億美元。

在需要超高真空的真空工業(yè)和分析科學(xué)應(yīng)用中,TMP的性能必須滿足嚴(yán)格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵,高度為195毫米,帶有一體式控制器,可在空間受限的環(huán)境中垂直、倒置或水平安裝。本設(shè)備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外,本設(shè)備還配備了易用型集成控制面板,在約280 L/s的抽速下,僅以180 W的低功耗工作。


1179A01312CR1BV-K [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 1179A01312CR1BV-K,氣體:N2,范圍:100SCCM,類型:VCR,D-SUB 15P

1479A01353CR1BM [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 1479A01353CR1BM,氣體:N2,范圍:5SLM,類型:VCR

649A12T51CAVR-S [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL
649A-14943S [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013
P8A-26808 [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR
DLT2A2231A1P210 [ MKS ]
質(zhì)量流量控制器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P



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