島津是領(lǐng)先的渦輪分子泵（TMP）制造商之一。島津TPM主要用于為制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池和平板顯示器提供不可或缺的高真空環(huán)境。
島津生產(chǎn)的TMP具有國際水準(zhǔn)的氣體吞吐量和抽氣速度，可滿足日益嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造的工藝需求。例如，使制造商能夠在大面積硅片上沉積和蝕刻半導(dǎo)體薄膜。

通過渦輪機(jī)的高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生真空環(huán)境，TMP的抽真空效果已達(dá)到分子流級。制造半導(dǎo)體和平板顯示器需要清潔、無油的真空環(huán)境，以保持出色的設(shè)備操作狀態(tài)。島津提供的技術(shù)性能、可靠性和全球技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò)使島津TMP成為這類應(yīng)用領(lǐng)域中不可或缺的組成部分。島津生產(chǎn)多陣容TMP產(chǎn)品系列。各系列產(chǎn)品具有不同的用途。

除溫度控制功能和特殊耐腐蝕涂層外，具備高氣體吞吐量的TMP-2404/3304/4304系列的抽速范圍為2100 L/s至4400 L/s，具有潛在的多種應(yīng)用領(lǐng)域。
外形緊湊節(jié)能型TMP-X1605/V2304系列中的每一種型號的TMP均具備集成電源組件，其功耗比具有獨立電源組件的型號低15 ％。
除集成電源外，TMP-X3405/X4304系列還具備溫度控制功能和耐腐蝕涂層，能滿足制造半導(dǎo)體和平板顯示器（FPD）中對工藝流程的嚴(yán)格要求。
此外，TMP-203至1003系列的眾多產(chǎn)品還具備出色的壓縮比和極限壓力水平，可實現(xiàn)高真空。

而且，TMP-5305系列具有5300 L/s的高級別氣體吞吐和抽氣速度，預(yù)計可用于下一代450 nmm半導(dǎo)體晶圓加工。
島津制作所半導(dǎo)體儀器事業(yè)部渦輪分子泵BU R&D小組BU長太田知男表示：“目前，我們在磁懸浮TMP領(lǐng)域已經(jīng)占領(lǐng)了30 %的全球市場份額?！薄皪u津TMP在全球的普及反映了我們?yōu)闈M足不斷變化的行業(yè)需求而提供的創(chuàng)新設(shè)計和全球技術(shù)支持的歷史?！?br /> 事實上，島津TMP的原型是為了用于位于神戶的日本快速的超級計算機(jī)設(shè)計而成的。太田知男說：“島津工程師使用了尖端建模技術(shù)來模擬TMP性能。”“我們所有的商用TMP系統(tǒng)均在島津內(nèi)部制造完成。通過這種方式，我們確保了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能?！?

新型TMP具備更新的軸承結(jié)構(gòu)，適用于下一代應(yīng)用領(lǐng)域

2014年，島津推出了具備創(chuàng)新設(shè)計的TMP-B300“混合軸承”渦輪分子泵系列，該系列可應(yīng)用于質(zhì)譜儀和掃描電子顯微鏡等需要生成超高真空的分析科學(xué)研究領(lǐng)域。TMP-B300系列主要針對分析科學(xué)應(yīng)用和通用設(shè)備的小型TMP市場開發(fā)而成，該領(lǐng)域的市場規(guī)模為1.5億美元。

在需要超高真空的真空工業(yè)和分析科學(xué)應(yīng)用中，TMP的性能必須滿足嚴(yán)格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵，高度為195毫米，帶有一體式控制器，可在空間受限的環(huán)境中垂直、倒置或水平安裝。本設(shè)備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外，本設(shè)備還配備了易用型集成控制面板，在約280 L/s的抽速下，僅以180 W的低功耗工作。