復(fù)合機(jī)器人,MiR機(jī)器人+UR機(jī)器人,AMR+機(jī)械臂,AMR+機(jī)械手,復(fù)合型機(jī)器人半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用

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“AGV+機(jī)械臂”(復(fù)合機(jī)器人)在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用


伴隨著自動(dòng)化改造熱潮的興起,AGV+機(jī)械手集“手腳”兩項(xiàng)功能于一身的復(fù)合型機(jī)器人也越來越被各行業(yè)追捧。從行業(yè)需求上來看,汽車和半導(dǎo)體等電子設(shè)備對(duì)機(jī)器人的需求日益增長,其中復(fù)合機(jī)器人成為半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用較為成熟的智能設(shè)備。


半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)機(jī)器人的應(yīng)用要求

半導(dǎo)體行業(yè)包括了眾多領(lǐng)域,在這些領(lǐng)域當(dāng)中又有著很多復(fù)雜的工序,比如前期的晶體制造、中期的封裝集成,還有后期的組裝包裝、運(yùn)輸?shù)鹊?。機(jī)器人進(jìn)軍半導(dǎo)體行業(yè)既是一種挑戰(zhàn)也是一種趨勢,機(jī)器人本身需要具有易使用、性能靈活輕便,不僅要滿足無塵空間的等級(jí)要求,還要小心易碎的產(chǎn)品,對(duì)極為細(xì)微的器件需要高度精準(zhǔn)地定位、放置和組裝。


復(fù)合機(jī)器人


半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)工業(yè)機(jī)器人的要求十分嚴(yán)格,在真空環(huán)境下,要保證機(jī)器人的潔凈度,因?yàn)榘雽?dǎo)體產(chǎn)品的特殊性,還要求機(jī)器人防震,防抖動(dòng),靜音生產(chǎn),能夠有精準(zhǔn)到5mm的重復(fù)定位等等。

 

復(fù)合型機(jī)器人在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

復(fù)合型機(jī)器人作為新型物流設(shè)備,柔性程度高,適應(yīng)能力強(qiáng),融合了智能驅(qū)動(dòng)導(dǎo)航技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù),可實(shí)現(xiàn)物料的自動(dòng)搬運(yùn)、智能分揀,已廣泛應(yīng)用在國際知名半導(dǎo)體行業(yè)中,并取得了較好應(yīng)用效果。
復(fù)合機(jī)器人,移動(dòng)型協(xié)作機(jī)器人應(yīng)用演示.png


根據(jù)中國移動(dòng)機(jī)器人(AGV)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、新戰(zhàn)略機(jī)器人產(chǎn)業(yè)研究所數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),目前全球半導(dǎo)體行業(yè)中AGV和機(jī)械手組合的復(fù)合型機(jī)器人的應(yīng)用已經(jīng)達(dá)到約5000臺(tái),松下、西門子、富士通、環(huán)旭電子、華通科技、晶元光電等半導(dǎo)體企業(yè),都將相關(guān)的AGV機(jī)器人應(yīng)用到了生產(chǎn)中。

在半導(dǎo)體行業(yè)中AGV移動(dòng)機(jī)器人應(yīng)用最普遍,AGV傳送自動(dòng)化也是傳送系統(tǒng)自動(dòng)化的一項(xiàng)內(nèi)容,它已成為了現(xiàn)代化半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化系統(tǒng)中最大的單項(xiàng)投資項(xiàng)目。


復(fù)合機(jī)器人


移動(dòng)搬運(yùn)機(jī)器人(AGV)為半導(dǎo)體產(chǎn)品提供物流支持,可以實(shí)現(xiàn)車間內(nèi)、車間與車間的自由移動(dòng)。物流設(shè)備自動(dòng)化通常和傳統(tǒng)流水線,自動(dòng)立體庫,AGV小車等其他傳送相關(guān)的執(zhí)行器,包括如何將其運(yùn)送到工藝設(shè)備端或者在不同的存儲(chǔ)區(qū)域之間進(jìn)行調(diào)度,以及晶片在工藝設(shè)備內(nèi)部的傳送(包括物料緩沖區(qū),裝載端口,晶片傳送機(jī)械手臂等)。

半導(dǎo)體加工環(huán)境要求在其內(nèi)運(yùn)行的設(shè)備需要具有高潔凈等級(jí)、防靜電、高可靠性等特點(diǎn)。所以在IC環(huán)境下所用的復(fù)合機(jī)器人在滿足基本搬運(yùn)要求的同時(shí)還要兼顧上述特點(diǎn)。


在半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中,AGV移動(dòng)機(jī)器人的輪子要符合標(biāo)準(zhǔn),調(diào)控必須便利,還必須是無軌導(dǎo)航。這樣一系列的高標(biāo)準(zhǔn)讓不少機(jī)器人企業(yè)望而卻步,但從另一個(gè)角度看,這說明半導(dǎo)體行業(yè)“門檻較高”,這也給復(fù)合機(jī)器人企業(yè)的進(jìn)入設(shè)定了一定的條件。


復(fù)合機(jī)器人

庫崎智能復(fù)合機(jī)器人采用MiR移動(dòng)機(jī)器人底盤,在上部集成了UR機(jī)械臂和視覺定位模組,移動(dòng)平臺(tái)+機(jī)械臂+視覺定位模塊的組合方式,無需人工干預(yù),即可由機(jī)械臂完成物料的取放工作;同時(shí)還滿足了車間多工位多種物料運(yùn)輸、裝卸的需求;由于沒有固定的產(chǎn)線設(shè)備,MiR移動(dòng)機(jī)器人可以隨時(shí)根據(jù)生產(chǎn)計(jì)劃的變化而調(diào)整工作流程,轉(zhuǎn)換時(shí)間極短。有效節(jié)省客戶的人工投入,以及生產(chǎn)不同產(chǎn)品的調(diào)整時(shí)間。


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應(yīng)用場景:汽車制造行業(yè) | 3C行業(yè) | 電子電氣 | 機(jī)械加工 | 液晶半導(dǎo)體 | 食品加工行業(yè) | 醫(yī)藥行業(yè) | 化工行業(yè) | 教育行業(yè) | 娛樂生活 | 其他行業(yè)

應(yīng)用案例:包裝碼垛 | 擰螺絲 | 注塑成型 | 拋光打磨|實(shí)驗(yàn)室分析 | 涂膠,點(diǎn)膠,焊接 | 機(jī)床管理 | 拾取和放置 | 裝配 | AGV | 質(zhì)量檢驗(yàn) | 設(shè)備看護(hù)

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