產(chǎn)品詳情
日立全新一代大型鎢燈絲掃描電鏡SU3900采用超大的樣品倉和多接口設(shè)計,適合超大樣品的觀察(直徑300mm)以及多種分析功能的拓展。同時,SU3900也采用了全新的HexBias偏壓技術(shù),也可以配置高靈敏度的背散射探測器和可變壓力二次電子探測器,使其高、低電壓性能都得到了提升。SU3900也具有IFT燈絲監(jiān)控技術(shù)、全新的光鏡導(dǎo)航、集成的能譜以及報告導(dǎo)出等功能,使其操作也變得更得非常簡單。
日立SU3900鎢燈絲掃描電鏡主要特點:
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HexBias偏壓鎢燈絲電子槍
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超大樣品倉和多接口實際
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優(yōu)異的高、低電壓性能
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高靈敏度五分割背散射電子探測器
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可變壓力二次電子探測器(高、低真空可用)
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全新的操作界面和光鏡導(dǎo)航功能
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全自動燈絲設(shè)定和合軸
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報告導(dǎo)出和圖片處理
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可集成的EDS
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簡單方便的維護(燈絲更換視頻)
應(yīng)用領(lǐng)域:
材料科學(xué)
生命醫(yī)學(xué)
食品衛(wèi)生
半導(dǎo)體電子元器件
汽車制造
文物考古
金屬冶金
主要參數(shù):
電子槍 |
預(yù)對中鎢燈絲 |
加速電壓 |
0.3kV – 30kV |
分辨率 |
3.0nm@30kV (SE) |
15.0nm@1kV (SE) |
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4.0nm@30kV (BSE, LV) |
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放大倍率 |
5x – 300,000x(底片倍率) |
7x – 800,000x(顯示器倍率) |
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探測器 |
二次電子探測器,高靈敏度無分割背散射電子探測器 |
可變壓力探測器UVD 2.0* |
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低真空可變壓力范圍 |
6 – 650Pa |
樣品臺(三軸馬達) |
X: 0 - 150 mm |
Y: 0 – 150 mm |
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Z: 5 – 85 mm |
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R: 0 – 360° |
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T: -20° - +90° |