超純凈PFA花籃4寸可配提手蝕刻酸洗特氟龍晶圓盒耐高溫

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第2年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌其他型號bzh
類型南京濱正紅加工定制否
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產(chǎn)品詳情

PFA花籃

 

PFA花籃（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花藍(lán) ，特氟龍卡匣 ， 特氟龍晶舟盒 ，特氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿)，能做激光雕刻，能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。

主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。

 

二、參數(shù)

名稱

規(guī)格

耐溫性

應(yīng)用

 

PFA花籃

PP Cassette

 

2寸

-200~260℃

酸堿傳輸制程

4寸

6寸

三、特點(diǎn)

1.耐腐蝕：耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿

2.搭配可活動把手，用于晶圓芯片清洗運(yùn)輸

3.耐高低溫：-200~260℃

4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無關(guān)；

5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；

6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無污染

 

7.化學(xué)性能穩(wěn)定

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