產(chǎn)品詳情
臺(tái)灣菘啟工業(yè)有限公司設(shè)計(jì)和制造溫度測量解決方案，保證為您提供靈敏度、快速響應(yīng)和一致的精度。并及時(shí)提供其創(chuàng)新的wafer晶圓解決方案。
TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；同時(shí)，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等！（溫度的均勻與否，良率）
溫度范圍：
低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）
高度：-150 to 1,200°C（焊接設(shè)計(jì)）
熱電偶選型：
● Type K (精度級(jí)別±1.1°C or
0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,372°C
● Type N (精度級(jí)別±1.1°C or 0.4%)， 溫度范圍 -270 to 1,300°C
● Type E (精度級(jí)別±1.0°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,000°C
● Type T (精度級(jí)別±0.5°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 400°C
● Type R/S (精度級(jí)別±1.5°C or 0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°C
晶圓材質(zhì)：
硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的、涂層的或圖案基底?？砂纯蛻粢蠖ㄖ苹濉⑿螤詈统叽?。
主要規(guī)格：
4寸，6寸，8寸，12寸
擴(kuò)展線：可選絕緣層材質(zhì)，接頭類型。密封的扁平電纜，可在大氣中打到10-7托。長度由客戶選
傳感器引線：長達(dá)40英尺–可定制,
被覆材質(zhì)：石英 陶瓷纖維 TEF
絕緣材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰*胺
線規(guī)：20 AWG – 40 AWG
a）主要型號(hào)有k/t/r(根據(jù)測溫范圍以及精度要求選型)
k型適合：0°c -600°c，精度級(jí)別為±1.1°c or ±0.4%
t型適合：200°c以下，精度級(jí)別為±0.5°c or ±0.4%
r型適合：0°c-1100°c，精度級(jí)別為0.1%
b)產(chǎn)品主要規(guī)格有：2寸/4寸/6寸/8寸/12寸
c)溫接點(diǎn)可生產(chǎn)1~24點(diǎn)（但硅片越小測溫點(diǎn)盡量減少，因?yàn)楹更c(diǎn)需要打孔存在應(yīng)力，另外需要排線，測溫點(diǎn)越多難度越高）
d)使用環(huán)境為普通或者真空環(huán)境
e）晶圓材質(zhì)：硅片或藍(lán)寶石襯底片
