浙江等離子清洗機(jī)專業(yè)晶圓增加粘合度

數(shù)量(臺) 價(jià)格
100 250000.00元/臺
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寒武紀(jì)技術(shù)(蘇州)有限公司

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  • 聯(lián)系人:周
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  • 營業(yè)執(zhí)照:已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式: 生產(chǎn)加工-私營獨(dú)資企業(yè)
  • 所在地區(qū):江蘇 南京市
  • 家家通積分:31分
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詳細(xì)參數(shù)
品牌寒武紀(jì)等離子型號220V/AC,50-60HzV
產(chǎn)品用途表面清洗,表面活化,增加表面能產(chǎn)品別名等離子表面活化設(shè)備
適用行業(yè)3C,汽車,半導(dǎo)體,新能源,醫(yī)療生物,學(xué)校實(shí)驗(yàn)室規(guī)格尺寸約L880*W750*H1550(mm)
產(chǎn)地中國江蘇

產(chǎn)品詳情

設(shè)備簡介:CPT真空式等離子處理設(shè)備可選擇搭配中頻或射頻電源,全自動控制運(yùn)行系統(tǒng),工藝過程參數(shù)可監(jiān)測控制。廣泛應(yīng)用于各大行業(yè)加工制造過程中基材表面的預(yù)處理,提升基材表面的粘接力、增加表面活性和表面微量有機(jī)物的去除等,以滿足后續(xù)工藝的功能要求和提升產(chǎn)品制造良率及質(zhì)量。
應(yīng)用領(lǐng)域:適用半導(dǎo)體、汽車制造、新能源、醫(yī)療器械、3C產(chǎn)品、電子線路板、印染紡織、印刷打印、軍工等廣泛領(lǐng)域。
設(shè)備工作原理:當(dāng)chamber內(nèi)部之壓力低到某一程度(約10-1 torr左右)時(shí), 氣態(tài)正離子開始往負(fù)電極移動, 由于受電場作用會加速撞擊負(fù)電極板, 產(chǎn)生電極板表面原子, 雜質(zhì)分子和離子以及二次電子(e-)…等, 此e-又會受電場作用往正電極方向移動, 于移動過程會撞擊chamber內(nèi)之氣體分子(ex. : Ar原子…等), 產(chǎn)生Ar+等氣態(tài)正離子, 此Ar+再受電場的作用去撞擊負(fù)電極板, 又再產(chǎn)生表面原子以及二次電子(e-)…等, 如此周而復(fù)始之作用即為Plasma產(chǎn)生的原理.

設(shè)備功能:

專注于各類產(chǎn)品基材表面的清潔、活化及表面張力的提升。設(shè)備具有完善的真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及人機(jī)界面、進(jìn)氣系統(tǒng)、等離子體發(fā)生系統(tǒng)、高真空密封腔室、鈑金框架等,可以實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的等離子體發(fā)生,精準(zhǔn)控制各類特種氣體進(jìn)量,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)多種活性基團(tuán)、粒子等對基材表面的精密處理。

設(shè)備一般運(yùn)行過程如下:真空等離子處理設(shè)備主要包括等離子發(fā)生器、真空泵、真空腔體,輸送管路等。在等離子體處理時(shí),首先利用真空泵將真空腔體內(nèi)的空氣抽至設(shè)定的工作真空度,然后通過輸送管路將工作氣體輸入正空腔體內(nèi)部,當(dāng)氣體含量達(dá)到設(shè)定要求后等離子發(fā)生器啟動,通過真空腔體內(nèi)部的上下正負(fù)電極之間放電將工作氣體電離從而產(chǎn)生Plasma,然后對樣品表面進(jìn)行處理,來達(dá)到改變表面活性和清潔等目的。

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