產品詳情
技術指標:
可處理硅片尺寸:125mm×125mm、156mm×156mm
外型形式:臥式1—4管結構
載片量:400片/管
擴散方式:閉管擴散、軟著陸全封閉
工作溫度:200℃—1300℃
恒溫區(qū)長度及精度:200mm—1100mm≤±1℃
單點溫度穩(wěn)定性、重復性: ≤±1℃/24h
溫度控制:5段控溫
總功率:120KVA
送片裝置:懸臂推拉舟,碳化硅槳最大載重17kg
氣路系統(tǒng):1—5路工藝氣體/管
氣體控制:進口MFC
控制方式:工控機、觸摸屏
Thinnerwafers:180Um
Break rate:0.8%
方阻均勻度范圍:片內±5%,片間±5%,批間±5%