產(chǎn)品詳情
1、產(chǎn)品介紹
1.1 特點(diǎn)和用途
CL系列 分為CL-4，CL-6，CL-8三個(gè)規(guī)格
CL系列探針臺(tái)測(cè)量精度高，操作方便，符合人機(jī)工程學(xué)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)。
同類(lèi)案例：北京大學(xué)微納加工實(shí)驗(yàn)室，清華大學(xué)材料系，成都電子科技大學(xué)，西南科技大學(xué)，中科院半導(dǎo)體所，中科院蘇州納米研究院，世紀(jì)晶圓，方正微電子等數(shù)十客戶(hù)。
1.3 探針臺(tái)結(jié)構(gòu)功能
總體
規(guī)格特點(diǎn)
● 重量:
CL-4 50KG左右（帶顯微鏡）
CL-6 60KG左右（帶顯微鏡）
CL-8 80KG左右（帶顯微鏡）
● 尺寸：
CL-4約 560mm寬*610mm長(zhǎng)*550mm高（帶顯微鏡）
CL-6 約600mm長(zhǎng)*650mm寬*600mm高（帶顯微鏡）
CL-8 約640mm長(zhǎng)*720mm寬*620mm高（帶顯微鏡）
探針座臺(tái)面規(guī)格
● 探針臺(tái)臺(tái)面平整度：5μm。
● CL-4臺(tái)面可以同時(shí)容納8-10個(gè)探針座
CL-6，CL-8分別可以同時(shí)容納10-12個(gè)探針座
CL-12臺(tái)面可以同時(shí)容納12個(gè)以上探針座
卡盤(pán)（載物臺(tái)）規(guī)格 （可選配鍍金卡盤(pán)，高溫加熱卡盤(pán)）
● 卡盤(pán)尺寸分為4" ，6"，8"三種
卡盤(pán)平整度：5μm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑最小可做到250微米（可根據(jù)客戶(hù)需求定制孔徑大?。?，最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，最大能夠吸住尺寸為4"X4"（6"X6"，8"X8"）。
● 卡盤(pán)可30度旋轉(zhuǎn)，方便點(diǎn)測(cè)時(shí)樣品在X-Y軸方向上調(diào)平。（根據(jù)客戶(hù)需要可定制為360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)精度為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。
● 卡盤(pán)X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤(pán)做X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍為4"X4"（6"X6"，8"X8"），移動(dòng)精度為20um，配合針座的移動(dòng)可以保證wafer上的die都能夠準(zhǔn)確點(diǎn)測(cè)到。
針座&探針夾具
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針座規(guī)格 |
CB-200型 |
CB-100型 |
CB-40-T型 |
CB-40型 |
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尺寸 |
90mmW x 130mmD x 90mmH |
90mmW x 130mmD x 90mmH |
52mmW x 96mmD x 76mmH |
38mmW x 62mmD x 45mmH |
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重量 |
1000 克 |
600 克 |
300克 |
200 克 |
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精度 |
0.35 Micron |
0.7 Micron |
2 Micron |
10 Micron |
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牙具 |
200牙/寸 |
牙具 100牙/寸 |
80牙/寸 |
40牙/寸 |
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X-Y-Z線(xiàn)性行程 |
12mmX12mmX12mm |
12mmX12mmX12mm |
12mmX12mmX12mm |
12mmX12mmX12mm |
探針
美國(guó)GGB
● 一般普通測(cè)試針?lè)謨煞N，硬針和軟針，針尖直徑在1micron以上稱(chēng)為硬針，在1micron以下稱(chēng)為軟針，硬針用來(lái)點(diǎn)pad和扎穿pass，軟針用來(lái)點(diǎn)bl和fib的mini pad
● 探針針尖為須絲狀固定于探針針杠，針尖為鎢材質(zhì)，針杠為鎳，漏電在5fa以下。
型號(hào)
針尖直徑
針桿直徑
針長(zhǎng)
材質(zhì)
根/盒
軟針類(lèi):適用于集成電路內(nèi)部線(xiàn)路點(diǎn)針
T-4-5
0.2 微米
0.51mm
51mm
硬鎢材質(zhì)
5
0.2微米直徑的針須焊接于鎳質(zhì)針桿上
T-4-10
0.7 微米
0.51mm
51mm
硬鎢材質(zhì)
5
0.7 微米針須焊接于鎳質(zhì)針桿上
硬針類(lèi):適用于集成電路電極點(diǎn)針
ST-20-0.5
1 微米
0.51mm
38mm
硬鎢材質(zhì)
10
ST-20-1.0
2 微米
0.51mm
38mm
硬鎢材質(zhì)
10
ST-20-2.0
5 微米
0.51mm
38mm
硬鎢/鈹銅材質(zhì)
10
ST-20-5.0
10 微米
0.51mm
38mm
硬鎢/鈹銅材質(zhì)
10
ST-20-10
20 微米
0.51mm
38mm
硬鎢/鈹銅材質(zhì)
10
三 加熱臺(tái)
品牌型號(hào)：CINDBEST HT-400-4
3.1 4英寸卡盤(pán)
3.2 直流電源低噪音
3.3 真空吸附：1.中央吸附孔 2.二英寸盤(pán)面 3.四英寸盤(pán)面
3.4 PID溫度控制器分辨率:1℃
3.5 溫度漂移：≤0.01%FS/℃
3.6 溫度誤差：室溫加溫到300度，任何一區(qū)段+-1%
3.7 40段程序編排，前30段具備自動(dòng)跳轉(zhuǎn)功能
