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低溫等離子處理技術(shù):
等離子體是區(qū)別固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)的第四種物質(zhì)形態(tài)，氣體受外電場激發(fā)放電，成為等離子體。
這是一種由電子、各種離子、原子和自由基構(gòu)成的混合體，其間電子、各種離子、重粒子相互碰撞，內(nèi)部能量很高但整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，低溫等離子體由此得名。
低溫等離子利用高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，污染物中的大分子團(tuán)被擊碎，長分子鏈被打斷成為無害的短分子物質(zhì)，達(dá)到降解污染物的目的。(注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，近于常溫。)
低溫等離子反應(yīng)器由大功率電源(高頻率、高電壓)、放電電極、絕緣體(介質(zhì))構(gòu)成，核心部件采用石英、不銹鋼等耐腐蝕材料制造，
待處體流經(jīng)反應(yīng)器被電離成為等離子體，在極短的時間里(0.01--0.1秒)完成物質(zhì)的裂解過程，其處理能力之強，能效比之高是的。
低溫等離子體的電離率較低，電子溫度遠(yuǎn)高于離子溫度，離子溫度甚至可與室溫相當(dāng)。所以低溫等離子體是非熱平衡等離子體，低溫等離子體中存在著大量的、種類繁多的活性粒子，比通常的化學(xué)反映所產(chǎn)生的活性粒子種類更多、活性更強，更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反映，因此它們被用來對材料表面進(jìn)行改性處理。
與傳統(tǒng)的方法相比，等離子體表面處理具有成本低、無廢棄物、無污染等顯著的優(yōu)點，同時可以得到傳統(tǒng)的化學(xué)方法難以達(dá)到的處理效果?，F(xiàn)在低溫等離子設(shè)備廣泛運用于金屬、微電子、聚合物、生物功能材料、低溫滅菌及污染治理等多種領(lǐng)域。
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