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黑龍江設(shè)計(jì)半導(dǎo)體廢氣治理方案
廢氣是VOCs污染物,廢氣組分為:激光切割UV樹脂顆粒物、潤(rùn)滑礦物油揮發(fā)物和高精制輕質(zhì)礦物油等、工業(yè)乙醇及車間綜合揮發(fā)物。廢氣處理設(shè)備設(shè)計(jì)風(fēng)量為54,000m3/h;難揮發(fā)性物質(zhì),不易脫附。2#館6個(gè)風(fēng)筒排放排放廢氣經(jīng)管道收集后,做為一個(gè)單元處理,安裝2套活性炭吸附裝置,廢氣處理設(shè)備及電氣控制系統(tǒng)防止2#樓頂。
提供電子廢氣處理裝置其處理能力分別為:
處理能力24000CMH 裝置2臺(tái)
處理能力15000CMH裝置1臺(tái)
電子廢氣處理系統(tǒng)工藝流程為:
氣體收集→→干式過濾→→VOCs處理裝置→→風(fēng)機(jī)+煙囪(達(dá)標(biāo)排放)