供應(yīng)雷尼紹_RGH20F超高真空光柵

數(shù)量(件) 價格
1 10000元/件
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  • 付款方式： 面議
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第8年

北京潤誠時代科技有限公司

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  • 所在地區(qū)：北京 朝陽區(qū)
  • 家家通積分：489分

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詳細參數(shù)
品牌 Renishaw雷尼紹 規(guī)格型號 RGH20F
編號 齊全 計量單位 1件
付款方式 面議 參考價格 10000
價格單位 人民幣 供貨量 不限
說明書，報價手冊及驅(qū)動 暫無相關(guān)下載 其他資料下載 暫無相關(guān)下載
產(chǎn)地 英國 發(fā)貨地 北京

產(chǎn)品詳情

超高真空光柵
RGH20F UHV


RGH20F UHV圓光柵讀數(shù)頭與雷尼紹的RESR圓光柵兼容
在超高真空條件下提供保真度極高的直接位置反饋
該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用在半導體和科學設(shè)備上，其良好的性能在多年實際應(yīng)用中已得到驗證
概述
RGH20F UHV圓光柵讀數(shù)頭與雷尼紹的RESR圓光柵兼容，在超高真空條件下提供保真度極高的直接位置反饋。RGH20F UHV廣泛應(yīng)用于對性能和可靠性要求極高的半導體和科學設(shè)備上，其良好的性能在多年實際應(yīng)用中已得到驗證。
UHV系列的用途
提高產(chǎn)量和收益
消除速度/分辨率局限
提高運動控制性能
降低損壞風險
RESOLUTE UHV是真正的絕對式光柵，開啟后可立即采集絕對位置
移動軸時不會有碰撞風險 RESOLUTE UHV任何時候都能保持全面控制，即使斷電后也是如此 增強可靠性
RESOLUTE UHV具有內(nèi)置的位置檢查算法
UHV讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點
由真空兼容材料和粘合劑制成，出氣率低，進行殘余氣體分析 (RGA) 經(jīng)驗證不會污染真空環(huán)境
120 °C烘焙溫度
非接觸開放式光學系統(tǒng)提供高速、可靠的操作，摩擦和磨損均為零
具備工業(yè)標準的模擬和數(shù)字輸出，分辨率達1 nm
電耗低、發(fā)熱小
排氣密封
自適應(yīng)電路可確保高精度、長期工作的可靠性和低周期誤差（RGH25F UHV和RGH20F UHV為±50 nm，TONiC UHV為±30 nm）
帶有真空兼容涂層線路的RFI屏蔽線纜
TONiC UHV光柵具有光學參考零位
與REF接口兼容
為了進一步提高性能和長期可靠性，由符合RoHS標準的REF接口取代了RGB和RGF系列，它具有動態(tài)信號調(diào)節(jié)功能和5 nm的分辨率。
RGH25F UHV讀數(shù)頭由精選的低除氣速率材料和粘合劑在指定的潔凈條件下制造而成。該產(chǎn)品封裝在一個真空兼容袋中以維持清潔。
真空兼容型鋼帶柵尺
RGS20-S鋼帶柵尺提供具有高重復性的測量標準。該標準適用于半導體和科學產(chǎn)業(yè)中使用的最常見的工程材料，包括ZeroMet?、Zerodur®、不銹鋼和鋁。當使用推薦的環(huán)氧樹脂將柵尺的末端鎖入基體時，柵尺適應(yīng)基體的熱膨脹系數(shù)，從而表現(xiàn)出如同基體本身被刻劃柵線的特性。
殘留氣體分析 (RGA) 測試結(jié)果

通過獨立殘留氣體分析 (RGA) 測試證明整個系統(tǒng)適用于潔凈真空條件。它還適用于超真空中使用的120攝氏度的烘焙。典型應(yīng)用包括晶片處理、晶片檢測和科研。


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