產(chǎn)品詳情
SiNUM
SiGNUM?直線光柵使用極為方便,其優(yōu)異的性能可與價格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美
概述
SiGNUM?直線光柵集高速、非接觸的性能與動態(tài)信號處理和IN-TRAC?自動調(diào)相光學參考零位等先進功能于一體; SiGNUM?直線光柵使用極為方便,其優(yōu)異的性能可與價格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美。SiGNUM?還提供圓光柵。
選項
RELM ZeroMet?柵尺的熱膨脹系數(shù)為~0.6 μm/m/°C,有多種長度可供選擇。堅固的因鋼柵尺比玻璃柵尺具有更小的截面尺寸,而且操作和安裝更為簡便,沒有破損的風險。RELM精度為±1 μm,分辨率達5 nm,能夠滿足要求苛刻的精密運動的需求。
RSLM不銹鋼直線柵尺的性能可與精細柵距的玻璃柵尺媲美,有多種長度可供選擇,最長可達5 m。在5 m長度內(nèi)的總體精度(包括斜率誤差和線性誤差)優(yōu)于±4 μm — 達到業(yè)內(nèi)最高水平! RSLM可以方便地成卷存放,一旦展開,就可以像直線柵尺一樣使用。此外,該柵尺還具有超低的周期誤差 (±30 nm),是測量精度要求嚴格的長行程應用場合的理想解決方案。
技術
紅外發(fā)光二極管將光線射到柵尺上,它是一種柵距為20 μm的平面反射金屬光柵。柵尺均勻且周期性好,這一點非常重要,但不要求其為優(yōu)質(zhì)的衍射光柵。與RG2和RG4讀數(shù)頭一樣,SiGNUM讀數(shù)頭光學器件采用對多個光柵周期進行平均的技術,有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去,以在探測器上留下一個完美的正弦波形。這里使用的是一個多條紋結(jié)構(gòu),它非常細,能夠產(chǎn)生4個對稱相位信號形式的光電流。這些結(jié)合在一起可免去DC器件,并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦輸出,同時保持500 kHz以上的帶寬。
通過主動調(diào)節(jié)各個通道增益、偏置量以及對SiGNUM?讀數(shù)頭內(nèi)的LED光源進行控制,可使這些信號的平衡和電平控制進一步得到增強。因此,固有周期誤差(電子細分誤差,SDE)僅為±30 nm,相當于0.15%的柵尺刻劃周期。在SiGNUM? Si接口內(nèi),通過CORDIC算法進行細分。
IN-TRAC?參考零位直接刻劃在增量柵尺上。此特征被光學濾波系統(tǒng)濾除,但被讀數(shù)頭內(nèi)一個分離的光電檢測器檢測到。通過光學感應和門控電路產(chǎn)生參考零位信號,在所有的速度下都具有雙向可重復性。安裝后,相應的模擬通道的相位校準通過接口內(nèi)的邏輯自動執(zhí)行,并提供全面的系統(tǒng)監(jiān)控和安裝幫助。
SiGNUM? RELM直線光柵
RELM高精度柵尺集高速、非接觸的性能與動態(tài)信號處理和IN-TRAC?光學零位等先進功能于一體。RELM極為堅固,其優(yōu)異的性能可與價格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美。在長度達1.13 m時RELM精度為±1 μm,熱膨脹系數(shù)低,分辨率達5 nm,能夠滿足要求苛刻的精密運動的需求。
系統(tǒng)包括:
RELM 20 μm柵距ZeroMet柵尺
SiGNUM? SR讀數(shù)頭
SiGNUM? Si接口
RELM 20 μm柵距ZeroMet柵尺
20 μm柵距的RELM柵尺由ZeroMet制造;它是一種低膨脹的鎳/鐵合金。堅固的ZeroMet柵尺比玻璃柵尺具有更小的截面尺寸,但操作和安裝更為簡便,沒有破損的風險。
可提供長達1 130 mm的規(guī)定長度,也可根據(jù)要求提供定制長度
精度可達±1 μm,根據(jù)國際標準校準
熱膨脹系數(shù)低: ZeroMet,~0.6 μm/m/°C(0°C至30°C)
IN-TRAC?自動調(diào)相光學零位即使在最高速度(12.5 m/s)下仍具有雙向、可重復功能
中點 (RELM) 和端點 (RELE) 光學零位位置可作為標準配置提供
雙光學限位可在柵尺上指示行程終點
易于安裝,可以使用基準夾具和夾子或背面自帶的不干膠直接安裝到基體
SR讀數(shù)頭和Si接口盒的特性與優(yōu)點
周期誤差為±30 nm,具有"精細柵距"光柵性能
工作速度可達12.5 m/s,工作溫度可達85 °C
在大多數(shù)開放式光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號穩(wěn)定性。
Si接口盒提供具有工業(yè)標準的模擬和數(shù)字輸出
用戶可選的增益控制 (AGC) 保持1 Vpp的模擬信號幅度。
讀數(shù)頭和接口盒上的內(nèi)置LED指示燈能夠?qū)崿F(xiàn)最佳安裝和系統(tǒng)診斷
高柔性、UL認證的電纜 — 在讀數(shù)頭和接口盒之間長達10 m
提供可選的IP68內(nèi)置接頭
技術規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 14.8 mm x 36.0 mm x 16.5 mm (H x L x W)
輸出(分辨率) RS422: 5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm、10 nm、5nm。
模擬: 1 Vpp
細分 Si接口(x4至x4000)
參考零位 IN-TRAC?自動調(diào)相光學參考零位
限位開關 用戶定位的雙光學限位
最高速度 12.5 m/s
間隙公差 0.8 ±0.08 mm
柵尺類型 20 μm RELM ZeroMet柵尺
真空兼容 否
SiGNUM? RSLM直線光柵
全新RSLM不銹鋼因鋼柵尺的性能可與精細柵距的玻璃柵尺媲美,在5 m長度內(nèi)的總體精度(包括斜率誤差和線性誤差)優(yōu)于±4 μm — 達到業(yè)內(nèi)最高水平!SiGNUM? RSLM的周期誤差為±30 nm,配有獨特的濾波系統(tǒng),分辨率為5 nm,安裝簡單,具有20 μm柵距光柵的所有優(yōu)點以及精細柵距系統(tǒng)的性能。如需10 m以上的長度,請聯(lián)系當?shù)氐睦啄峤B業(yè)務代表。
RSLM 20 μm柵距不銹鋼柵尺
RSLM 20 μm柵距不銹鋼柵尺是測量精度要求嚴格的長行程應用場合的理想解決方案。
堅固的柵尺有多種規(guī)定長度可供選擇,最長可達10 m,請聯(lián)系當?shù)氐睦啄峤B業(yè)務代表
在5 m長度內(nèi)總體精度優(yōu)于±4 μm
熱膨脹:10.8 μm/m/°C
RSLM可以方便地成卷存放,一旦展開,就可以像直線柵尺一樣使用
使用背面自帶的特殊配方不干膠或機械夾具安裝
IN-TRAC?自動調(diào)相光學零位即使在系統(tǒng)最高速度(12.5 m/s)下仍具有雙向、可重復功能
多個IN-TRAC?光學零位:柵尺中點 (RSLM)、柵尺端點 (RSLE)、用于短行程旋轉(zhuǎn)的距離編碼 (RSLD) 或供用戶選擇的固定間距 (RSLC)
雙光學限位可在柵尺上指示行程終點
技術規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸 14.8 mm x 36.0 mm x 16.5 mm (H x L x W)
輸出(分辨率) RS422:5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm、10 nm、5 nm。
模擬:1 Vpp
細分 Si接口盒(x4至x4 000)
參考零位 IN-TRAC?自動調(diào)相光學零位
限位開關 用戶定位的雙光學限位
最高速度 12.5 m/s
間隙公差 0.8 ±0.08 mm
柵尺類型 RSLM 20 μm柵距不銹鋼柵尺
真空兼容 否
更多相關詳細資料,歡迎致電:010-84450370/13520118840,QQ:649909728,聯(lián)系人:徐濤
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