四管擴(kuò)散爐

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
1 1.00元/臺(tái)
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  • 發(fā)貨地址： 山東 青島市
  • 發(fā)布日期：2021-12-15
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第11年

青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

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  • 聯(lián)系人：岳曉茜
  • 手機(jī)：15314229122
  • 電話：0532-68017154
  • 營(yíng)業(yè)執(zhí)照：已審核 營(yíng)業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營(yíng)模式： 生產(chǎn)加工-私營(yíng)獨(dú)資企業(yè)
  • 所在地區(qū)：山東 青島市
  • 家家通積分：1210分

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詳細(xì)參數(shù)
品牌其他型號(hào)定制
類型定制加工定制是

產(chǎn)品詳情

◆工作溫度：300~1300℃?
??◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定，可訂制?
??◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度：1080mm（可根據(jù)用戶要求定制）?
??◆溫區(qū)精度（靜態(tài)閉管測(cè)試）：?
??600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃?
??300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃?
??◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性（靜態(tài)閉管測(cè)試）：?
??600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h?
??300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h?
??◆溫度斜變能力：?
??可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min?
??降溫速度（1300～900℃）：5℃/min?
??◆氣體流量設(shè)定精度：±2％FS?
??◆氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PA.m3/s?
??◆自動(dòng)送料裝置行程：~2000mm?
??速度：5~1000mm/min?
??SiC漿承重 19kg?
??◆裝片數(shù)量 400片/管?
??◆凈化臺(tái)潔凈度 100級(jí)（10000級(jí)廠房）?
??◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；?
??◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min?

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