爐體

數(shù)量(支) 價(jià)格
1 1.00元/支
  • 最小起訂: 1支
  • 發(fā)貨地址: 山東 青島市
  • 發(fā)布日期:2021-11-08
  • 訪問(wèn)量:522
咨詢電話:153-1422-9122
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青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

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  • 聯(lián)系人:岳曉茜
  • 手機(jī):15314229122
  • 電話:0532-68017154
  • 營(yíng)業(yè)執(zhí)照:已審核 營(yíng)業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營(yíng)模式: 生產(chǎn)加工-私營(yíng)獨(dú)資企業(yè)
  • 所在地區(qū):山東 青島市
  • 家家通積分:1210分

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詳細(xì)參數(shù)
品牌其他型號(hào)定制
加工定制

產(chǎn)品詳情

可完全代替進(jìn)口爐體,--加熱爐絲,進(jìn)口保溫材料,采用國(guó)外先進(jìn)加工工藝,爐體可長(zhǎng)期使用在高溫下,處理12英寸以下硅片,工作溫度2000℃-1286℃。
設(shè)備特點(diǎn):?
可保存多條工藝曲線每條曲線可設(shè)置多步
工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能
工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能
自動(dòng)運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能
可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能
PID參數(shù)自整定功能
工藝氣體的程序控制功能
關(guān)鍵部件全部具有高可靠性
具有良好的人機(jī)界面
系統(tǒng)故障自診功能
停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等
具有歷史記錄功能
具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償
技術(shù)指標(biāo):
可配置工藝管外徑2~8英寸
可配置工藝管數(shù)量:1~4管/臺(tái)
工作溫度范圍:400~1300℃
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃
單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性:800~1300℃±0.5℃/24h
大可控升溫速率:15℃/min
大降溫速率:5℃/min?

溫馨提示

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