產(chǎn)品詳情
用于重型物鏡的具有長(zhǎng)行程的高動(dòng)態(tài)掃描系統(tǒng)
用于大型物鏡的高動(dòng)態(tài)定位和掃描
諧振頻率 1120 Hz;560 Hz,210 g 物鏡質(zhì)量
典型。步進(jìn)和穩(wěn)定約 6 ms
行程范圍 100 μm
采用直接測(cè)量電容傳感器,具有的線性度、穩(wěn)定性和控制動(dòng)態(tài)
分辨率 0.3 納米
零間隙、高精度撓性導(dǎo)軌系統(tǒng),對(duì)焦穩(wěn)定性更好
應(yīng)用領(lǐng)域
超分辨率顯微鏡
光碟顯微鏡
共聚焦顯微鏡
3-D 成像
篩選
干涉測(cè)量
測(cè)量技術(shù)
自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)
生物技術(shù)
半導(dǎo)體測(cè)試
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,無需接觸。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。
自動(dòng)配置和快速組件更換
機(jī)械裝置和控制器可根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械裝置的 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開控制器時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。
PICMA ®壓電執(zhí)行器具有出色的使用壽命
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護(hù)它們免受因漏電流增加而導(dǎo)致的潮濕和故障。PICMA® 執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。證明了 1000 億次循環(huán)而沒有一次故障。
零間隙撓性導(dǎo)軌帶來高導(dǎo)向精度
撓性導(dǎo)軌無需維護(hù)、摩擦和磨損,也不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力,并且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是 真空兼容的,可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。
直接位置測(cè)量帶來的精度
運(yùn)動(dòng)在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上直接測(cè)量,不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟娜魏斡绊憽_@可以實(shí)現(xiàn)的可重復(fù)性、出色的穩(wěn)定性以及剛性、快速響應(yīng)的控制。
PI高負(fù)載物鏡掃描儀P-726 PIFOC