產(chǎn)品詳情
PI 直線執(zhí)行器和平臺P-753 LISA系列詳情
應用領域
掃描顯微鏡
測量技術
測試程序和質(zhì)量保證
光子學
光纖定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，無需接觸。它們保證了出色的運動線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。
直接位置測量帶來的精度
運動在運動平臺上直接測量，不受驅(qū)動或?qū)蛟娜魏斡绊?。這可以實現(xiàn)的可重復性、出色的穩(wěn)定性以及剛性、快速響應的控制。
PICMA ®直接驅(qū)動帶來更高的剛度和動力
采用 PICMA® 直接驅(qū)動的壓電納米定位器沒有機械平移。這允許在壓電驅(qū)動范圍內(nèi)實現(xiàn)快速響應速度以及盡可能高的剛度和動態(tài)。
PICMA ®壓電執(zhí)行器具有出色的使用壽命
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受因漏電流增加而導致的潮濕和故障。PICMA® 執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。證明了 1000 億次循環(huán)而沒有一次故障。
零間隙撓性導軌帶來高導向精度
撓性導軌無需維護、摩擦和磨損，也不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動不敏感。它們是 真空兼容的，可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。
適用于復雜的真空應用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作不需要潤滑劑或油脂。不含聚合物的壓電系統(tǒng)允許特別低的釋氣率。
動態(tài)穩(wěn)定的位置
導向平臺和執(zhí)行器同時進行
行程范圍達 38 μm
分辨率 0.1 納米
提供非磁性版本
由于直接驅(qū)動，響應速度特別快
電容式傳感器帶來的線性度
PI 直線執(zhí)行器和平臺P-753 LISA系列詳情
應用領域
掃描顯微鏡
測量技術
測試程序和質(zhì)量保證
光子學
光纖定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，無需接觸。它們保證了出色的運動線性度、長期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。
直接位置測量帶來的精度
運動在運動平臺上直接測量，不受驅(qū)動或?qū)蛟娜魏斡绊?。這可以實現(xiàn)的可重復性、出色的穩(wěn)定性以及剛性、快速響應的控制。
PICMA ®直接驅(qū)動帶來更高的剛度和動力
采用 PICMA® 直接驅(qū)動的壓電納米定位器沒有機械平移。這允許在壓電驅(qū)動范圍內(nèi)實現(xiàn)快速響應速度以及盡可能高的剛度和動態(tài)。
PICMA ®壓電執(zhí)行器具有出色的使用壽命
獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受因漏電流增加而導致的潮濕和故障。PICMA® 執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。證明了 1000 億次循環(huán)而沒有一次故障。
零間隙撓性導軌帶來高導向精度
撓性導軌無需維護、摩擦和磨損，也不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且它們對沖擊和振動不敏感。它們是 真空兼容的，可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。
適用于復雜的真空應用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。操作不需要潤滑劑或油脂。不含聚合物的壓電系統(tǒng)允許特別低的釋氣率。
動態(tài)穩(wěn)定的位置
導向平臺和執(zhí)行器同時進行
行程范圍達 38 μm
分辨率 0.1 納米
提供非磁性版本
由于直接驅(qū)動，響應速度特別快
電容式傳感器帶來的線性度
PI 直線執(zhí)行器和平臺P-753 LISA系列詳情
