產(chǎn)品詳情
用于 AFM / SPM 的超高性能閉環(huán)掃描儀
用于生物/納米技術(shù)的緊湊型操作工具
共振頻率 9.8 kHz,用于特別快速的掃描
導(dǎo)向誤差自動(dòng)補(bǔ)償?shù)钠叫袦y(cè)量技術(shù)
分辨率 50 皮米
行程范圍 5 μm × 5 μm × 5 μm
應(yīng)用領(lǐng)域
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
零間隙撓性導(dǎo)軌帶來(lái)高導(dǎo)向精度
撓性導(dǎo)軌無(wú)需維護(hù)、摩擦和磨損,也不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力,并且它們對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是 真空兼容的,可在很寬的溫度范圍內(nèi)工作。
由于平行位置測(cè)量,在納米范圍內(nèi)具有高跟蹤精度
所有的自由度都是根據(jù)一個(gè)固定的參考來(lái)測(cè)量的。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時(shí)(取決于帶寬)主動(dòng)補(bǔ)償(主動(dòng)引導(dǎo))。即使在動(dòng)態(tài)操作中,也能在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量,無(wú)需接觸。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線(xiàn)性度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和 kHz 范圍內(nèi)的帶寬。
自動(dòng)配置和快速組件更換
機(jī)械裝置和控制器可根據(jù)需要組合并快速更換。所有伺服和線(xiàn)性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械裝置的 D-sub 連接器的 ID 芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。
PI 用于掃描探針顯微鏡的動(dòng)態(tài)納米定位器P-363 PicoCube XY(Z)