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百級(jí)半導(dǎo)體無(wú)塵車間裝修設(shè)計(jì)施工中改進(jìn)措施
1.潔凈車間局部百級(jí)區(qū)的上送上回氣流組織形式不符合凈化原理，應(yīng)想辦法使其氣流組織滿足上送下回（或下側(cè)回）的凈化原理。如果工藝條件允許，最簡(jiǎn)單的補(bǔ)救措施是在層流罩兩側(cè)加軟質(zhì)垂簾（如PVC材質(zhì)的條形簾），垂簾低端能低于工作面高度，這樣就把上送上回的氣流組織形式轉(zhuǎn)化成上送下回。
2.當(dāng)層流罩距工作面的距離較大時(shí)，如果工藝條件允許，可用符合潔凈廠房要求的透明材料把局部百級(jí)工藝線從凈化車間中隔離出來(lái)，隔離材料可采用塑鋼框架、5mm厚浮法玻璃結(jié)構(gòu)，也可采用優(yōu)質(zhì)鋁合金或不銹鋼框架、5mm厚浮法玻璃結(jié)構(gòu)，這樣局部百級(jí)區(qū)的氣流組織形式就轉(zhuǎn)化為上送下側(cè)回的形式。
3.加大回風(fēng)口的回風(fēng)量，在層流罩與高效送風(fēng)口之間懸吊軟隔斷，在局部百級(jí)區(qū)的靜壓大于其周邊區(qū)的靜壓，阻止亂流氣流對(duì)局部百級(jí)區(qū)的干擾，必要時(shí)在軟隔斷的右側(cè)增設(shè)回風(fēng)口。使回風(fēng)口的回復(fù)量為層流罩送風(fēng)量的一半，另一半風(fēng)量壓入軟隔斷右側(cè)區(qū)域，即靠軟隔斷與動(dòng)壓共同控制周邊區(qū)對(duì)百級(jí)區(qū)的污染。
