產(chǎn)品詳情
深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司Model 730
真空電容式壓力計(jì)
特性
·高精度：±0.5% 讀數(shù)
·張緊的膜片保證優(yōu)異的性能
·工作溫度補(bǔ)償范圍寬
·回路噪聲低，響應(yīng)快
·不易受環(huán)境條件變化影響
·出色的抗過壓設(shè)計(jì)
·符合 CE 和 RoHS 規(guī)范
應(yīng)用
·半導(dǎo)體處理室
·石化
·等離子體滅菌器
·真空包裝
■ 耐化學(xué)品的 InconelTM 設(shè)計(jì)
■ 精確的低真空測量
■ 專用壓力接頭
Setra 的 730 型是一款高精度的電容式壓力計(jì)（亦稱電容
式膜片真空計(jì) (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場
中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精
度達(dá) ±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全
InconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介
質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計(jì)，它能精確測量介質(zhì)，不受應(yīng)
用中氣體混合物成分的影響。
適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品
采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工
業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動(dòng)態(tài)范圍寬的
特點(diǎn)，使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設(shè)計(jì)保證通用性
所有接液部件均采用 Inconel TM 材料，因此對半導(dǎo)體
和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有極高的耐受性。
Inconel TM 材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)，確保 730 型在這類
應(yīng)用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內(nèi)置膜片可在使用點(diǎn)直接測量壓力變化。與其他工業(yè)
電容式壓力計(jì)不同，730 型測量直接壓力，不受被測
混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計(jì)。
耐壓
范圍 耐壓（PSIA）
所有范圍 45 PSIA
