日本ygkcop晶圓表面掃描儀

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1 1.00元/臺(tái)
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第8年

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詳細(xì)參數(shù)
品牌ygkcop型號(hào)YPI-MN
加工定制否

產(chǎn)品詳情

日本ygkcop晶圓表面掃描儀

YPI-MX-ΘDC

YPI-MN

晶圓表面掃描儀最小半英寸晶圓表面顆粒檢查設(shè)備

半英寸晶圓表面顆粒檢查設(shè)備。
標(biāo)準(zhǔn)半英寸晶片表面上的異物（顆粒）的高速掃描實(shí)時(shí)顯示在觸摸屏顯示器上。
根據(jù)規(guī)格檢查顯示/運(yùn)輸操作。
可以通過簡(jiǎn)單的操作快速掌握晶片的顆粒狀態(tài)。

 

檢測(cè)粒徑為0.1μm。
測(cè)量結(jié)果示例

   

設(shè)備規(guī)格

掃描方式螺旋掃描
工作安裝標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)運(yùn)輸
能量消耗AC100V 10A
最小檢測(cè)粒徑0.1微米
重現(xiàn)性σ/ X≦10％
測(cè)量時(shí)間1分鐘以內(nèi)，包括運(yùn)輸（測(cè)量重復(fù)性90％或更高）
待檢查的基材硅片等

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